[實用新型]研磨裝置

有效

• 申請號: 201320023008.0
• 申請日: 2013-01-16
• 公開（公告）號: CN203045499U
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 前田將克
• 申請（專利權）人: 蘇州住友電木有限公司
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所 31210
• 代理人: 梅高強;劉煜

技術領域

本實用新型涉及一種研磨裝置。

背景技術

作為半導體密封材料等熱固化性樹脂的固化物的特性檢查的1種，有對固化物中成分的分散狀態的檢查。作為該檢查方法，例如，有如下方法：制作由該固化物制成的規定的直徑（例如直徑100mm）的圓盤狀的試驗片，研磨該試驗片并觀察固化物的表面。此時，為了使所希望的觀察面露出，通過研磨所述圓盤狀的試驗片的表層而予以去除。

作為研磨試驗片的裝置，采用了通過手動使所述試驗片旋轉而進行研磨的手動臺式研磨機。

實用新型解決的課題

因此，使用所述研磨裝置時，需要用眼睛估量來調節研磨量。研磨后的試驗片的厚度，例如和目標值相比會產生0.3-0.4mm左右的誤差。

實用新型內容

本實用新型要解決的課題是，鑒于上述問題而提供一種可以抑制被研磨物的研磨量的誤差的研磨裝置。

本實用新型提供一種研磨裝置，其具有：研磨部件，該研磨部件具有研磨被研磨物的平坦的研磨面；保持部，該保持部具有朝著所述研磨面向下開口的收容部，該保持部在所述收容部保持所述被研磨物并且通過自重將所述被研磨物按壓到所述研磨面；移動機構，該移動機構通過使所述保持部和所述研磨部件在所述研磨面的面方向上相對移動而在所述研磨部件上研磨所述被研磨物；以及多個重量塊，該多個重量塊可相互層疊地搭載在所述保持部的上表面。

實用新型效果：

根據本實用新型，可以提供一種能夠抑制被研磨物的研磨量的誤差的研磨裝置。

附圖說明

圖1是表示本實施方式所涉及的研磨裝置的側面圖。

圖2是表示本實施方式涉及的研磨裝置的保持裝置的圖，圖2（a）是側視圖，圖2（b）是仰視圖。

圖3是表示本實施方式所涉及的研磨裝置的圖，圖3（a）是研磨前的截面圖，圖3（b）是研磨后的擴大截面圖。

圖4是表示本實施方式所涉及的研磨裝置的移動機構的俯視圖。

圖5是表示本實施方式所涉及的研磨裝置的保持機構的側視圖。

圖6是表示本實施方式所涉及的研磨裝置的保持機構的側視圖。

符號說明：

1…研磨裝置

2…保持部

3…移動機構

4…被研磨物

5…重量塊

6…收容部

7…凹部或者凸部

8…旋轉輥

9…研磨部件

10…研磨面

11…端部

12…第1旋轉軸

13…支撐部

14…第2旋轉軸

15…保持裝置

16…旋轉機構

17…圓柱形狀部

18…軸部

19…驅動用驅動器

20…凹部或者凸部

D…被研磨物的厚度

A…力

B…力

具體實施方式

下面，采用附圖說明本實施方式。另外，在全部的附圖中，同樣的構件加了同樣的符號，適當省略說明。

＜研磨裝置＞

圖1是表示本實施方式所涉及的研磨裝置1的側視圖。

如圖1所示，本實施方式所涉及的研磨裝置1具有：研磨部件9，該研磨部件9研磨被研磨物4并具有平坦研磨面10；保持部2，該保持部2保持被研磨物4并且通過自重相對于研磨面10按壓被研磨物4；移動機構3，該移動機構3通過使保持部2和研磨部件9在研磨面10的面方向上相對移動從而使研磨部件9進行研磨被研磨物4；以及多個重量塊5，該多個重量塊可以在保持部2的上表面相互層疊搭載。保持部2具有朝研磨面10且向下開口的收容部6，在該收容部6中保持被研磨物4。通過采用該研磨裝置1來研磨被研磨物4，由此可以抑制被研磨物4的研磨量的誤差。

通過該研磨裝置1研磨被研磨物4時，保持部2的研磨面10側的端部11與研磨面10接觸的時刻即為研磨完成時。因此，由于不需要用眼睛估量來判斷研磨量，故可以抑制被研磨物的研磨量的誤差（參照圖3（b））。

另外，如上所述，研磨裝置1具有可以在保持部2的上表面相互層疊地搭載的多個重量塊5。通過將該多個重量塊5內的任意數量的重量塊5搭載在保持部2上，由此，由于可以調節被研磨物4相對于研磨面10的按壓力，故可以調節被研磨物4的研磨速度。

另外，保持部2的上表面所搭載的重量塊5的數量如圖1、圖5以及圖6所示，可以任意地進行變更。越是增加重量塊5的數量越能夠提高被研磨物4的研磨速度。

＜保持裝置15＞

下面，將包含保持部2的裝置作為保持裝置15來進行說明，該保持部2具有朝研磨面10且向下開口的收容部6。