[實用新型]脈沖注入式金屬有機化學氣相沉積系統

有效

• 申請號: 201320019409.9
• 申請日: 2013-01-15
• 公開（公告）號: CN203049089U
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 趙昆;楊本潤;陳少華
• 申請（專利權）人: 中國石油大學(北京)
• 主分類號: C30B25/02
• 分類號: C30B25/02;C30B25/16
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 趙燕力

1.一種脈沖注入式金屬有機化學氣相沉積系統，該金屬有機化學氣相沉積系統包括有密封連通于真空泵的真空反應腔，真空反應腔內設有真空計和測溫計；其特征在于：所述真空反應腔上端設有開口，構成樣品放入端，該真空反應腔設有與高壓氣瓶導通的進氣口；一氣體饋入裝置設置在真空反應腔外側并通過一注入口與真空反應腔導通；所述氣體饋入裝置包括連通于注入口的蒸發器，蒸發器的進口端與微量液體饋入裝置導通，該微量液體饋入裝置連通于高壓氣瓶；該微量液體饋入裝置由一盛放前驅體溶液的鋼罐和電磁噴射閥構成，電磁噴射閥的噴口與蒸發器的進口端密封導通，鋼罐連通于高壓氣瓶，所述電磁噴射閥與一控制裝置電連接；所述真空反應腔內由其上端開口放入一中空樣品臺，該中空樣品臺底端封閉上端設有上蓋，中空樣品臺內設有光加熱器；中空樣品臺上端與真空反應腔上端開口密封連接；該中空樣品臺封閉端下側設有基底。

2.如權利要求1所述的脈沖注入式金屬有機化學氣相沉積系統，其特征在于：所述蒸發器的進口端與多個微量液體饋入裝置導通。

3.如權利要求1所述的脈沖注入式金屬有機化學氣相沉積系統，其特征在于：所述光加熱器固定設置在上蓋；所述光加熱器由多個燈泡構成。

4.如權利要求1所述的脈沖注入式金屬有機化學氣相沉積系統，其特征在于：所述上蓋與一機械升降桿固定連接，該機械升降桿由電機通過傳動裝置驅動。

5.如權利要求4所述的脈沖注入式金屬有機化學氣相沉積系統，其特征在于：所述中空樣品臺的側壁是由雙層圓桶構成的夾層結構，該夾層空間上設有進水孔和出水孔，進水孔和出水孔之間連接有水泵構成水冷循環系統。

6.如權利要求1所述的脈沖注入式金屬有機化學氣相沉積系統，其特征在于：所述中空樣品臺封閉端下側固定有一個鏤空樣品架，所述基底放置在鏤空樣品架上的鏤空處；所述鏤空孔與基底形狀相同；所述鏤空孔的內緣設有凸緣，所述基底的邊緣搭設在凸緣上。

7.如權利要求1所述的脈沖注入式金屬有機化學氣相沉積系統，其特征在于：所述氣體饋入裝置及其相應的連接管道上覆設有柔性烘烤加熱器；該柔性烘烤加熱器由加熱帶構成。

8.如權利要求7所述的脈沖注入式金屬有機化學氣相沉積系統，其特征在于：所述光加熱器功率為8000-9000W，最高加熱溫度為800℃；柔性烘烤加熱器總功率為1000W，最高加熱溫度為300℃。

9.如權利要求1所述的脈沖注入式金屬有機化學氣相沉積系統，其特征在于：所述測溫計固定于真空反應腔封閉端，測溫計的探針高度與基底一致。

10.如權利要求1所述的脈沖注入式金屬有機化學氣相沉積系統，其特征在于：所述真空反應腔上端開口處設有第一法蘭；該真空反應腔由第一法蘭固定于一殼體上；中空樣品臺上端設有第二法蘭，該第二法蘭設于第一法蘭頂部；所述第一法蘭與第二法蘭的結合面上設有密封圈。