[實用新型]一種濕法刻蝕并聯供液系統

有效

• 申請號: 201320017918.8
• 申請日: 2013-01-14
• 公開（公告）號: CN203034101U
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發明（設計）人: 申磊;滕龍
• 申請（專利權）人: 英利集團有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

1.一種濕法刻蝕并聯供液系統，包括藥品柜（1）和通過第一管路（4）與所述藥品柜（1）相連的第一濕法刻蝕設備（2）；其特征在于，還包括第二濕法刻蝕設備（3），所述第二濕法刻蝕設備（3）包括：

內部管路，所述內部管路上設有第一閥門；

分別用于控制所述第一閥門開閉以及控制所述藥品柜（1）的第二控制器的信號輸入線路（7）通斷的第一控制器，所述第一控制器與所述信號輸入線路（7）相聯；

連接在所述內部管路與所述藥品柜（1）之間的第二管路（5），所述第二管路（5）與所述第一管路（4）并聯。

2.根據權利要求1所述的濕法刻蝕并聯供液系統，其特征在于，還包括設置在所述信號輸入線路（7）上，由所述第一控制器發送的控制信號控制閉合/關斷狀態的控制開關（71），所述信號輸入線路（7）的一端連接直流電源，另一端通過所述控制開關（71）連接所述第二控制器的信號輸入端。

3.根據權利要求2所述的濕法刻蝕并聯供液系統，其特征在于，所述藥品柜（1）為四個分別盛放四種不同藥液的藥品柜，每個所述藥品柜（1）內分別設置有所述第二控制器，且所述第二控制器均與所述第一控制器相連；

所述第二濕法刻蝕設備（3）包括四條所述內部管路，每條所述內部管路均設有所述第一閥門，所述內部管路與所述藥品柜（1）一一對應設置并分別通過所述第二管路（5）相連。

4.根據權利要求1所述的濕法刻蝕并聯供液系統，其特征在于，所述第二管路（5）上還設置有第二閥門（51）。

5.根據權利要求4所述的濕法刻蝕并聯供液系統，其特征在于，所述第二閥門（51）為手動閥門。

6.根據權利要求1所述的濕法刻蝕并聯供液系統，其特征在于，所述藥品柜（1）的輸出端連接有主供液管路（6），所述主供液管路（6）分別與所述第一管路（4）和所述第二管路（5）相連通。

7.根據權利要求6所述的濕法刻蝕并聯供液系統，其特征在于，所述主供液管路（6）通過彎頭與所述第一管路（4）以及所述第二管路（5）相連通，所述彎頭包括與所述主供液管路（6）相連通的主管和并聯設置在所述主管上的兩個支管，其中一個所述支管與所述第一管路（4）相連通，另一個所述支管與所述第二管路（5）相連通。

8.根據權利要求7所述的濕法刻蝕并聯供液系統，其特征在于，所述第一管路（4）與所述第二管路（5）平行設置。