[實用新型]一種EBR擋板

有效

• 申請號: 201320017864.5
• 申請日: 2013-01-14
• 公開（公告）號: CN203037997U
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發明（設計）人: 李玉華
• 申請（專利權）人: 無錫華潤上華科技有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42;H01L21/67
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 常亮

技術領域

本實用新型涉及半導體技術領域，尤其涉及一種EBR擋板，用以EBR工藝中的清洗溶劑防濺防滴。

背景技術

邊緣光刻膠的去除（Edge?Bead?Removal，全文簡稱EBR），指涂布光刻膠工藝在勻膠后晶圓邊緣的正反兩面都會有光刻膠的堆積，如果采用的是接觸式曝光，那么掩模板和晶片之間就會有間隙，造成曝光出現虛影，因此要去除掉晶圓邊緣的光刻膠。邊緣的光刻膠一般涂布不均勻，不能得到很好的圖形，且容易發生剝離（Peeling）而影響其它部分的圖形。

EBR方法主要有以下兩種：a、化學方法（Chemical?EBR），軟烘后，用丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）或乙酸-2-甲氧基乙酯（EGMEA）去邊溶劑，噴出少量在正反面邊緣處，并小心控制不要到達光刻膠有效區域；b、光學方法（Optical?EBR），即晶片邊緣曝光（Wafer?Edge?Exposure，簡稱WEE），在完成圖形的曝光后，用激光曝光晶片邊緣，然后在顯影或特殊溶劑中溶解。

EBR工藝采用有機溶劑沖洗掉晶圓邊緣的光刻膠，有機溶劑從管路中噴到晶圓上會有液滴濺起，影響晶圓內的有效管芯，以至影響制品的良率。為避免這種現象，通常在有機溶劑噴管出口處，加一塊塑料擋板，避免液滴濺到晶圓內。但有機溶劑會粘附在塑料擋板上不斷累積，達到一定量便會滴下，影響晶圓內管芯。發生這種狀況，就需要設備維修人員加強維護，避免有效溶劑的過量累積，增加了勞動者強度。由于需要增加設備維護，機器的有效使用時間減少，使得效益也相應的下降。

因此，針對上述技術問題，有必要提供一種具有改良結構的EBR擋板，以克服上述缺陷。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種新型的EBR擋板，對傳統的EBR擋板結構進行改良，不僅可以對EBR清洗溶劑進行防濺，還可以防止清洗溶劑沿擋板的滴落。

現有的EBR擋板僅包括一塊塑料板體，可以避免有機溶劑液滴濺到晶圓內。但有機溶劑會粘附在塑料擋板上不斷累積，達到一定量便會滴下，影響晶圓內管芯。導流槽在很多設備中被應用，并取得了不錯的引導液體流向的效果，考慮將導流槽借鑒到現有的EBR擋板上，通過合理的設計和組合，將有機溶劑液滴收集并導流出去，便不會有滴落現象發生。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種EBR擋板，包括一板體和設于所述板體同一側面的至少一條導流槽。

優選的，所述板體側面底部設有一條導流槽。

所述的導流槽橫截面為U字型或V字形。

所述的導流槽橫截面為U字型，更有利于有機溶劑液滴匯聚后的流動。

所述的導流槽縱切面為“一”字型或“人”字型。

所述的導流槽縱切面為“人”字型。中部段高，兩邊端低的“人”字型結構，更方便有機溶劑液滴依靠自身的重力沿導流槽下落，不至于會有部分有機溶劑液滴長期停留在導流槽內。

進一步的，所述EBR擋板由氟塑料制成，可以防止清洗用有機溶劑對擋板的腐蝕。

特別的，還可以在所述板體設有導流槽的一面設置吸附材料，進一步提高EBR擋板的防濺效果。

本實用新型還提供了一種EBR清洗裝置，包括溶劑噴嘴、支架和所述的EBR擋板，所述EBR擋板傾斜安裝在支架上。

特別的，所述EBR擋板傾斜30度安裝在支架上。

從上述技術方案可以看出，本實用新型的EBR擋板，通過增加導流槽，將設有導流槽的EBR擋板側面置于清洗溶劑噴嘴側，便于回濺的有機溶劑向晶圓外流，杜絕了有機溶劑對圓晶的污染，省卻了設備維護，保證了生產效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的有關本實用新型的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實用新型的EBR擋板的結構示意圖；

圖2是本實用新型的EBR擋板的導流槽縱切面為“人”字型的剖面圖；

圖3是安裝有本實用新型的EBR擋板的EBR清洗裝置結構示意圖。

具體實施方式

本實用新型公開了一種EBR擋板，包括一板體和設于所述板體同一側面的至少一條導流槽。

優選的，所述板體側面底部設有一條導流槽。

所述的導流槽橫截面為U字型或V字形。

所述的導流槽縱切面為“一”字型或“人”字型。

進一步的，所述EBR擋板由氟塑料制成。