[實用新型]一種精抽泵機組及具有其的精抽系統

有效

• 申請號: 201320016930.7
• 申請日: 2013-01-11
• 公開（公告）號: CN203009298U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 李井泉;毛立宏;溫子新
• 申請（專利權）人: 珠海格力電器股份有限公司
• 主分類號: F04C23/00
• 分類號: F04C23/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

技術領域

本實用新型涉及抽真空技術領域，更具體地說，涉及一種精抽泵機組及具有其的精抽系統。

背景技術

需要真空環境時，通常采用真空泵進行抽真空。對于一些真空度要求較高的場合，通常采用羅茨真空泵。例如，在充氦檢漏系統中，精抽真空過程采用羅茨真空泵來完成。由于羅茨真空泵的特性，羅茨真空泵不能單獨使用，需配上前級泵串聯組成機組，以降低羅茨真空泵的排出壓力。

目前，由羅茨真空泵組成精抽泵機組有兩種方案：

第一種方案采用單級旋片真空泵12為前級泵，即單級旋片真空泵12與羅茨真空泵11進行串聯組合，如圖1所示。由于單級旋片真空泵12抽速較大，所以整個精抽泵機組的抽速會較大，生產效率較高。但是，在潮濕工況下，即連續在潮濕的環境中抽真空，親水膜較易附著水蒸氣，空氣含水份較重，在抽空過程中水蒸氣持續進入單級旋片真空泵12并與油混合，導致單級旋片真空泵12的油乳化，抽空能力下降，導致無法正常抽空到工藝要求。

第二種方案采用雙級旋片真空泵22為前級泵，即雙級旋片真空泵22與羅茨真空泵21進行串聯組合，如圖2所示。由于雙級旋片真空泵22不會受水蒸氣的影響，且其真空度較低，則該精抽泵機組的真空度也較低，能夠滿足工藝要求。但是，由于雙級旋片真空泵22的抽速比較小，則整個精抽泵機組的抽速較低，導致生產效率較低。

有上述兩種方案可知，在潮濕工況下，現有的精抽泵機組不能同時具有較低的真空度和較高的抽速。

綜上所述，如何提供一種精抽泵機組，以避免水蒸氣對其真空度的影響，同時提高該精抽泵機組的抽速，是目前本領域技術人員亟待解決的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種精抽泵機組，以避免水蒸氣對其真空度的影響，同時提高該精抽泵機組的抽速。本實用新型的目的是提供一種具有上述精抽泵機組的精抽系統。

為了實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種精抽泵機組，包括羅茨真空泵，和與羅茨真空泵串聯的前級泵；其中，前級泵包括單級旋片真空泵和與單級旋片真空泵并聯的雙級旋片真空泵。

優選的，上述精抽泵機組中，所述單級旋片真空泵的數目為一個，所述雙級旋片真空泵的數目為一個。

基于上述提供的精抽泵機組，本實用新型還提供了一種精抽系統，該精抽系統包括待抽真空的待抽部件，和與所述待抽部件相連通的精抽泵機組；其中，該精抽泵機組為上述任意一項所述的精抽泵機組。

優選的，上述精抽系統中，所述待抽部件為蒸發器。

優選的，上述精抽系統中，所述待抽部件為冷凝器。

本實用新型提供的精抽泵機組，在潮濕工況下，最初單級旋片真空泵抽速較大，隨著受水蒸氣的影響，單級旋片真空泵的抽真空能力逐漸下降，由于雙級旋片真空泵不受水蒸氣的影響，此時雙級旋片真空泵發揮主要作用，從而避免了水蒸氣對整個精抽泵機組的真空度的影響；同時，由于雙級旋片真空泵與單級旋片真空泵并聯，則整個精抽泵機組的抽速為雙級旋片真空泵的抽速與單級旋片真空泵的抽速的代數和，很顯然，提高了整個精抽泵機組的抽速。故本實用新型提供的精抽泵機組，避免了水蒸氣對其真空度的影響，同時提高了該精抽泵機組的抽速。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現有技術提供的精抽泵機組的一種結構框圖；

圖2為現有技術提供的精抽泵機組的另一種結構框圖；

圖3為本實用新型實施例提供的精抽泵機組的結構框圖。

上圖1-3中：

羅茨真空泵11、單級旋片真空泵12、羅茨真空泵21、雙級旋片真空泵22、羅茨真空泵31、單級旋片真空泵32、雙級旋片真空泵33。

具體實施方式

本實用新型實施例提供了一種精抽泵機組，避免了水蒸氣對其真空度的影響，同時提高了該精抽泵機組的抽速。

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參考附圖3，圖3為本實用新型實施例提供的精抽泵機組的結構框圖。