[實用新型]一種PECVD輔助配件清洗機有效
| 申請號： | 201320016459.1 | 申請日： | 2013-01-11 |
| 公開（公告）號： | CN203030585U | 公開（公告）日： | 2013-07-03 |
| 發明（設計）人： | 閆文啟;齊海洋;李盼 | 申請（專利權）人： | 英利集團有限公司 |
| 主分類號： | B08B7/04 | 分類號： | B08B7/04;B08B3/04;B08B3/08;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏曉波 |
| 地址： | 071051 *** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 pecvd 輔助 配件 清洗 | ||
1.一種PECVD輔助配件清洗機，其特征在于，包括：
機架；
酸洗系統，所述酸洗系統安裝于所述機架上，所述酸洗系統包括用于盛裝氫氟酸的酸槽（1）；
浸泡噴淋清洗系統，所述浸泡噴淋清洗系統安裝于所述機架上，所述浸泡噴淋清洗系統包括清洗槽（2），所述清洗槽（2）中安裝有噴淋頭（21）。
2.根據權利要求1所述的PECVD輔助配件清洗機，其特征在于，還包括干冰預清洗系統，所述干冰預清洗系統包括干冰處理槽（3），所述干冰處理槽（3）的底部開設有排渣口（31）。
3.根據權利要求1所述的PECVD輔助配件清洗機，其特征在于，所述酸洗系統還包括排酸管路（11），所述排酸管路（11）與所述酸槽（1）的底壁連通。
4.根據權利要求1所述的PECVD輔助配件清洗機，其特征在于，所述酸洗系統還包括用于向氫氟酸中充氣的充氣閥組件（12），所述充氣閥組件（12）設置于所述酸槽（1）靠近其底壁的位置，并與所述酸槽（1）的底壁間隔設置。
5.根據權利要求1所述的PECVD輔助配件清洗機，其特征在于，所述浸泡噴淋清洗系統還包括水循環組件，所述水循環組件包括用于與所述清洗槽（2）相連通的進水管和出水管。
6.根據權利要求5所述的PECVD輔助配件清洗機，其特征在于，所述進水管與所述出水管均設置于所述清洗槽（2）的底壁上。
7.根據權利要求1至6任一項所述的PECVD輔助配件清洗機，其特征在于，還包括排風系統（4），所述排風系統（4）設置于所述機架的上側。
8.根據權利要求7所述的PECVD輔助配件清洗機，其特征在于，所述排風系統（4）包括排風風道，所述排風風道中安裝有用于調節排風量的調節閥。
9.根據權利要求7所述的PECVD輔助配件清洗機，其特征在于，所述述排風系統（4）包括排風風道，所述排風風道中安裝有用于對氣體進行過濾的過濾網。
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