[實用新型]一種新型熱屏總成及其新型熱屏裝置

有效

• 申請號: 201320016456.8
• 申請日: 2013-01-11
• 公開（公告）號: CN203034137U
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發明（設計）人: 王永輝
• 申請（專利權）人: 英利集團有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B35/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

技術領域

本實用新型涉及單晶爐技術領域，特別涉及一種新型熱屏總成及其新型熱屏裝置。

背景技術

熱屏是單晶爐熱場不可缺少的部分，俗稱導流筒，在拉晶的過程中，熱屏的主要作用是引導氣流，使晶體周圍快速冷卻，從而提高晶體的生長速度。為了進一步提高晶體的生長速度，還可以在熱屏內側增加鉬片裝置，以進一步減少加熱器對晶棒的熱輻射。

熱屏包括熱屏內筒和熱屏外筒，請參閱圖1，熱屏內筒01為上大下小的中空錐形結構，其內壁具有光滑的錐度。目前通用的方法是將鉬片02卷成和熱屏內筒01的內壁結構類似的椎體，垂直放到熱屏內筒01的內側，由于熱屏內筒01特殊的錐體結構，鉬片02恰好可以架在熱屏內筒01的內壁上。

但是目前這種鉬片02的使用方式對鉬片02的使用壽命有很高的要求，鉬片02在卷制好架在熱屏內筒01的內壁上使用一段時候后，就會變脆，用手輕輕一捏就可掰下一小片，并且在使用一段時候后，鉬片02在高溫下，可能會斷裂或者掉渣，也就是下沿可能會脫落，這樣的話鉬片02的碎片渣掉到裝滿硅料溶液的石英坩堝里面，會直接影響成晶率，甚至有可能無法拉出單晶棒。

因此，目前單晶爐使用的熱屏不能夠滿足盛放鉬片的需求，如何改進熱屏的結構，使其能夠方便的裝載鉬片，完全避免鉬片的碎片渣掉到單晶爐的石英坩堝內，成為本領域技術人員亟待解決的重要技術問題。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提供了一種新型熱屏裝置，能夠方便的裝載鉬片，完全可以避免鉬片的碎片渣掉到單晶爐的石英坩堝內，進而保證拉晶的正常進行，提高成晶率。

本實用新型還提供了一種應用了上述新型熱屏裝置的新型熱屏總成。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種新型熱屏裝置，包括熱屏外筒和熱屏內筒，所述熱屏內筒的內壁沿周面開設有用于裝載鉬片的安裝槽。

優選的，所述安裝槽開設在所述熱屏內筒的底部。

優選的，所述安裝槽的高度和所述鉬片的高度相同。

優選的，所述安裝槽的深度具體為大于所述鉬片的厚度1mm。

一種新型熱屏總成，包括熱屏裝置和鉬片裝置，所述熱屏裝置為上述的新型熱屏裝置，所述鉬片裝置的鉬片卡設在所述新型熱屏裝置的熱屏內筒的安裝槽內。

從上述的技術方案可以看出，本實用新型提供的新型熱屏裝置，通過在其熱屏內筒的內壁沿周面開設有用于裝載鉬片的安裝槽，使其能夠方便的承載鉬片，與現有技術中將卷成錐體的鉬片直接架在熱屏內筒光滑的錐形內壁上相比，本實用新型的設計完全可以避免鉬片的碎片渣掉到單晶爐的石英坩堝內，進而保證拉晶的正常進行，提高成晶率。本方案中對于熱屏的改造加工也很簡單，易于實現。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現有技術中熱屏的結構示意圖；

圖2為本實用新型實施例提供的新型熱屏裝置的結構示意圖；

圖3為圖2中A區域的局部放大視圖。

其中，01為現有技術中的熱屏內筒，02為鉬片；

11為本實用新型實施例提供的新型熱屏裝置的熱屏內筒，12為鉬片。

具體實施方式

本實用新型的核心在于公開了一種新型熱屏裝置，能夠方便的裝載鉬片，完全可以避免鉬片的碎片渣掉到單晶爐的石英坩堝內，進而保證拉晶的正常進行，提高成晶率。

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖2和圖3，圖2為本實用新型實施例提供的新型熱屏裝置的結構示意圖；圖3為圖2中A區域的局部放大視圖。

本實用新型實施例提供的新型熱屏裝置，包括熱屏外筒和熱屏內筒11，其核心改進點在于，熱屏內筒11的內壁沿周面開設有用于裝載鉬片12的安裝槽。在安裝時，將卷成錐體的鉬片12卡在上述安裝槽內即可，與現有技術中直接架在內壁上相比，鉬片12的裝載更加牢固和可靠，不易脫落；即使鉬片12在使用過程中產生碎片渣，也會被留在安裝槽內。