[實用新型]晶圓片雙面刷洗機

有效

• 申請號: 201320014388.1
• 申請日: 2013-01-11
• 公開（公告）號: CN203076276U
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發明（設計）人: 李繼忠
• 申請（專利權）人: 常州市科沛達超聲工程設備有限公司
• 主分類號: B08B7/04
• 分類號: B08B7/04;B08B3/02;B08B1/04;B08B13/00
• 代理公司: 常州市科誼專利代理事務所 32225
• 代理人: 孫彬

1.一種晶圓片雙面刷洗機，其特征在于：它包括機架（1）和控制系統（2）；

還包括輸送裝置，輸送裝置依次包括噴霧清洗段輸送機構（3）、雙面刷洗段輸送機構（4）、沖洗段輸送機構（5）和可垂直翻轉的翻轉橋段輸送機構（6）；

還包括上料裝置，上料裝置上裝有上料晶圓片盒（7），上料裝置位于輸送裝置的起始側；

還包括與上料裝置配合將上料晶圓片盒（7）內的晶圓片推送至輸送裝置上的推片裝置，推片裝置位于上料裝置的左側；

還包括噴霧清洗裝置（8），噴霧清洗裝置（8）位于噴霧清洗段輸送機構（3）的上方；

還包括具有若干噴頭的噴淋沖洗裝置（9），若干噴頭分別位于沖洗段輸送機構（5）的上、下兩側；

還包括位于雙面刷洗段輸送機構（4）尾端的雙面刷洗裝置，雙面刷洗裝置包括刷洗支座（10）、兩個可從內部噴液的毛刷（11）、兩根同步轉動的刷洗軸組件（12）和驅動刷洗軸組件（12）旋轉的驅動組件（13），刷洗軸組件（12）可旋轉地支承在刷洗支座（10）上，刷洗支座（10）安裝在機架（1）上，毛刷（11）分別套裝在相應的刷洗軸組件（12）上，兩個毛刷（11）分別位于待測晶圓片的兩側；

還包括使位于雙面刷洗裝置內的晶圓片旋轉的晶圓片旋轉驅動裝置；

還包括下料裝置，下料裝置上裝有下料晶圓片盒（14），下料裝置位于輸送裝置的尾側；

還包括將沖洗段輸送機構（5）上的晶圓片推送至下料晶圓片盒（14）上的卸片裝置。

2.根據權利要求1所述的晶圓片雙面刷洗機，其特征在于：所述的機架（1）上安裝有與噴霧清洗段輸送機構（3）配合壓緊晶圓片的毛刷壓緊裝置，毛刷壓緊裝置位于噴霧清洗段輸送機構（3）的上方，毛刷壓緊裝置包括毛刷座（15）和壓緊毛刷（16），毛刷座（15）固定連接在機架（1）上，壓緊毛刷（16）可旋轉地支承在毛刷座（15）上。

3.根據權利要求1或2所述的晶圓片雙面刷洗機，其特征在于：所述的推片裝置包括推片連接板（17）、推頭（18）以及固定連接在機架（1）上的推片氣缸（19）和支撐組件（20），推片連接板（17）的一端安裝在推片氣缸（19）上，推片連接板（17）的另一端與推頭（18）固定連接，并且推片連接板（17）的該端抵接在支撐組件（20）上。

4.根據權利要求1或2所述的晶圓片雙面刷洗機，其特征在于：所述的上料裝置和下料裝置均包括電動執行器連接板（21）、固定晶圓片盒的裝片盒組件以及使電動執行器連接板（21）上下移動的電動執行器（22），電動執行器（22）安裝在機架（1）上，電動執行器連接板（21）的一端安裝在電動執行器（22）上，另一端與裝片盒組件固定連接。

5.根據權利要求4所述的晶圓片雙面刷洗機，其特征在于：所述的裝片盒組件包括立板（23）、底板（24）、安裝板（25）和可在機架（1）上滾動的滾輪組（26），所述的立板（23）的一端與電動執行器連接板（21）固定連接，另一端與底板（24）固定連接，滾輪組（26）安裝在立板（23）與底板（24）之間，安裝板（25）安裝在底板（24）上。

6.根據權利要求1或2所述的晶圓片雙面刷洗機，其特征在于：所述的晶圓片旋轉驅動裝置包括旋轉臂（27）、驅動軸（28）、螺紋齒輪（29）、從動齒輪（30）、從動軸（31）、帶輪副、輥軸（32）和驅動驅動軸（28）旋轉的動力組件（47）以及可緊貼雙面刷洗段輸送機構（4）上的晶圓片并使其旋轉的旋轉輥（33），驅動軸（28）可旋轉地支承在支架（1）上，螺紋齒輪（29）套裝在驅動軸（28）上，從動齒輪（30）套裝在從動軸（31）上，從動軸（31）可旋轉地支承在機架（1）上，旋轉臂（27）可旋轉地支承在從動軸（31）上，從動軸（31）通過帶輪副與輥軸（32）連接，輥軸（32）可旋轉地支承在旋轉臂（27）上，旋轉輥（33）固定連接在輥軸（32）的端頭，螺紋齒輪（29）與從動齒輪（30）嚙合。

7.根據權利要求6所述的晶圓片雙面刷洗機，其特征在于：所述的晶圓片旋轉驅動裝置上還設置有旋轉輥退避移動機構，旋轉輥退避移動機構包括執行器連接頭（34）、執行器連接桿（35）、雙桿端連接頭（36）和可使執行器連接桿（35）移動的執行器（37），執行器連接桿（35）的一端與執行器（37）連接，執行器連接桿（35）的另一端與執行器連接頭（34）固定連接，雙桿端連接頭（36）的一端與執行器連接頭（34）鉸接，另一端與所述的旋轉臂（27）鉸接。