[實用新型]電子束加工設備的磁聚焦裝置

有效

• 申請號: 201320013787.6
• 申請日: 2013-01-11
• 公開（公告）號: CN203103261U
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發明（設計）人: 黃小東;韋壽祺;陸思恒;郭華艷;王偉;蔣思遠;陸葦;黃海;黃地送
• 申請（專利權）人: 桂林獅達機電技術工程有限公司
• 主分類號: H01J37/14
• 分類號: H01J37/14
• 代理公司: 桂林市持衡專利商標事務所有限公司 45107
• 代理人: 陳躍琳

電子束加工設備的磁聚焦裝置，主要由勵磁繞組和供電電源組成；其特征在于：

勵磁繞組包括主勵磁繞組(2?7)和輔助勵磁繞組(4?7)，且主勵磁繞組(2?7)的匝數多于輔助勵磁繞組(4?7)的匝數；主勵磁繞組(2?7)和輔助勵磁繞組(4?7)產生的磁場在電子束通道中的方向都與電子束飛行方向平行；

供電電源包括主供電電源和輔助供電電源；主供電電源為采用比例?積分調節的可調直流電源，且與主勵磁繞組(2?7)相連；輔助供電電源為采用比例反饋調節的可調直流電源或交變電源，且與輔助勵磁繞組(4?7)相連；

上述主供電電源包含有第一整流濾波電路(2?1)、功率調整管(2?2)、第一續流二極管(2?3)、第一取樣電阻(2?4)、換向繼電器、第一調節器(2?9)和第二續流二極管(2?11)；第一整流濾波電路(2?1)的輸入端與外部的交流電源相連，第一整流濾波電路(2?1)的正輸出端與功率調整管(2?2)的集電極連接，第一整流濾波電路(2?1)的負輸出端與第一續流二極管(2?3)的陽極連接；功率調整管(2?2)的發射極與第一續流二極管(2?3)的陰極相連，并與電子束加工設備控制電路的公共端相接；第二續流二極管(2?11)并接在換向繼電器的控制繞組(2?10)兩端，且第一續流二極管(2?3)的陰極經由第一取樣電阻(2?4)與換向繼電器的一組三端觸點(2?6)的公共端連接，第一續流二極管(2?3)的陽極直接與換向繼電器的另一組三端觸點(2?6)的公共端連接；換向繼電器的一組三端觸點的常開觸點(2?6)與另一組三端觸點的常閉觸點(2?6)分別相連，作為輸出端；主勵磁繞組(2?7)的兩端分別接在換向繼電器觸點(2?6)的2個輸出端上；第二續流二極管(2?11)的陽極與電子束加工設備控制電路的公共端相連，第二續流二極管(2?11)的陰極與電子束加工設備中央控制器(2?8)的輸出端相連；換向繼電器的控制繞組(2?10)的一端連接電子束加工設備中央控制器(2?8)，換向繼電器的控制繞組(2?10)的另一端與電子束加工設備控制電路的公共端相連；第一調節器(2?9)接收第一取樣電阻(2?4)的輸出主勵磁電流采樣信號和電子束加工設備中央控制器(2?8)輸出的主勵磁電流給定信號，通過比較、比例一積分運算和放大處理后，輸出信號接至功率調整管(2?2)的基極。

根據權利要求1所述的電子束加工設備的磁聚焦裝置，其特征在于：

上述輔助供電電源包含有第二整流濾波電路(4?1)、N型功率管(4?2)、N型功率管反并聯二極管(4?3)、P型功率管(4?4)、P型功率管反并聯二極管(4?5)、第二取樣電阻(4?6)和第二調節器(4?8)；第二整流濾波電路(4?1)的輸入端與外部的2組交流電源相連，第二整流濾波電路(4?1)的正輸出端連接N型功率管(4?2)的集電極，第二整流濾波電路(4?1)的負輸出端連接P型功率管(4?4)的集電極；N型功率管反并聯二極管(4?3)的陽極連接在N型功率管(4?2)的發射極上，N型功率管反并聯二極管(4?3)的陰極則連接在N型功率管(4?2)的集電極上；P型功率管反并聯二極管(4?5)的陰極連接在P型功率管(4?4)的發射極上，P型功率管反并聯二極管(4?5)的陽極則連接在P型功率管(4?4)的集電極上；N型功率管(4?2)的發射極和P型功率管(4?4)的發射極相互連接后接至電子束加工設備控制電路的公共端，并經第二取樣電阻(4?6)與輔助勵磁繞組(4?7)的一端相連；輔助勵磁繞組(4?7)的另一端與第二整流濾波電路(4?1)的輸出端正負電源的公共端連接；第二調節器(4?8)接收第二取樣電阻(4?6)的輸出輔助勵磁電流采樣信號和電子束加工設備中央控制器(2?8)輸出的輔助勵磁電流給定信號，通過比較和放大處理后，輸出信號接至N型功率管(4?2)的基極和P型功率管(4?4)的基極。

根據權利要求1或2述的電子束加工設備的磁聚焦裝置，其特征在于：主勵磁繞組(2?7)的電流回路中還串接有用于抑制感應電流的線性電抗器(2?5)。

根據權利要求1所述的電子束加工設備的磁聚焦裝置，其特征在于：主勵磁繞組(2?7)和輔助勵磁繞組(4?7)分別裝在一個開設有磁場氣隙(2)的密閉鐵甲(1)的內部，上述磁場氣隙(2)開在電子束通道(3)一側。