[實用新型]一種12對棒還原爐噴嘴

有效

• 申請號: 201320012373.1
• 申請日: 2013-01-10
• 公開（公告）號: CN203247100U
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 趙桂潔;顧國寶;馬啟坤;李文光;羅平;王世松;何書玉;李鴻祥;李春林;馬多智
• 申請（專利權）人: 昆明冶研新材料股份有限公司
• 主分類號: C01B33/035
• 分類號: C01B33/035
• 代理公司: 昆明今威專利商標代理有限公司 53115
• 代理人: 賽曉剛

技術領域

本實用新型尤指一種12對棒還原爐噴嘴，屬硅還原領域。?

背景技術

在多晶硅生產領域，還原爐因進料噴嘴尺寸不合理，各尺寸噴嘴配合使用不規范，導致還原爐進料不均勻、氣流波動大，造成在氣相沉積前期硅芯、硅棒極易倒棒，后期硅棒沉積不平衡等現象，造成企業生產浪費，生產成本居高不下。因此，探索合適的噴嘴尺寸和不同尺寸的噴嘴合理搭配使用勢在必行。?

發明內容

本實用新型目的是要確定12對棒還原爐噴嘴尺寸及不同尺寸噴嘴的配合使用，解決還原爐倒棒及硅棒沉積不平衡現象，提供一種由內和外兩種規格噴嘴搭配使用的12對棒還原爐噴嘴。?

本實用新型12對棒還原爐噴嘴結構是：噴嘴為一體包括還原爐底盤（1）、噴頭（3）、六邊型卡頭（2）、噴嘴絲口（4），噴嘴通過噴嘴絲口（4）固定于還原爐底盤（1），噴嘴經六邊型卡頭（2）旋緊。?

?所述的針對12對棒還原爐底部進料管分布結構，外圍8個噴嘴以中心噴嘴為圓心分布，并進行不同規格尺寸噴嘴的搭配。?

所述的噴嘴尺寸有兩種規格，一種為輔助噴嘴，規格為6～13㎜；另一種為主噴嘴，規格為26～30㎜，生產中相互搭配使用噴嘴搭配方式有“8個輔助噴嘴+1個主噴嘴”、“9個輔助噴嘴”或者其它各種輔助噴嘴與主噴嘴的組合配合方式。?

本實用新型噴嘴采用一種多晶硅還原爐噴嘴尺寸及不同尺寸噴嘴的最佳搭配的結構組合。噴嘴為一體包括還原爐底盤、噴頭、六邊型卡頭、噴嘴絲口，噴嘴通過噴嘴絲口固定于還原爐底盤，噴嘴經六邊型卡頭旋緊，噴嘴尺寸有兩種規格，一種為輔助噴嘴，規格為6～13㎜，另一種為主噴嘴，規格為26～30㎜，生產中噴嘴主輔相互搭配使用,搭配方式有“8個輔助噴嘴+1個主噴嘴”、“9個輔助噴嘴”等其它各種輔助噴嘴與主噴嘴的組合配合方式。?

作為本實用新型的進一步改進，噴嘴采用不銹鋼（316L）加工，并經過熱處理。?

本實用新型所述噴嘴與爐底盤采用螺紋連接，可拆卸連接，拆卸、組裝方便，所述噴嘴合適的尺寸使得混合氣流流速降低，保證硅棒下部氣流停留時間及氣體更新，減少因氣流對硅棒造成沖擊而倒棒，同時能保證反應氣流達到預定高度；所述噴嘴不同尺寸合理搭配使用，可減弱因爐內溫差造成的硅棒溫度梯度，提高沉積質量；所述噴嘴合適的尺寸及合理搭配可使硅棒倒棒率在原基礎上下降10～15%，倒芯率下降20～30%，在生產上已得到很好實踐證明。?

其有益效果是:?

1）?本實用新型拆卸、組裝、維護方便；?

2）?本實用新型可使硅棒倒棒率在原基礎上下降10～15%，倒芯率下降20～30%；?

附圖說明：

圖1為實用新型噴嘴放置在還原爐內的剖面示意圖；?

圖2為實用新型噴嘴放大后的縱向剖面示意圖；?

圖3為實用新型噴嘴俯視示意圖；?

圖4為實用新型噴嘴分布及不同尺寸噴嘴分布示意圖；?

圖中標號:1-還原爐底盤；2-六邊型卡頭；3-噴頭；4-噴嘴絲口；5—進料盤管；6—進料調節閥；7—反應尾氣；8—鐘罩。?

具體實施方式

實施例1：本實用新型噴嘴采用一種多晶硅還原爐噴嘴尺寸及不同尺寸噴嘴的最佳搭配的結構組合。噴嘴為一體包括還原爐底盤1、噴頭3、六邊型卡頭2、噴嘴絲口4，噴嘴通過噴嘴絲口4固定于還原爐底盤1，噴嘴經六邊型卡頭2旋緊，噴嘴尺寸有兩種規格，一種為輔助噴嘴，規格為6～13㎜，另一種為主噴嘴，規格為26～30㎜，生產中相互搭配使用噴嘴搭配方式有“8個輔助噴嘴+1個主噴嘴”、“9個輔助噴嘴”等各種輔助噴嘴與主噴嘴的組合配合方式。?

本實用新型噴嘴為一體式構造，中心噴頭尺寸為實用新型噴嘴關鍵技術，噴嘴絲口4與爐底盤1絲坐連接，通過噴嘴六邊型卡頭3旋緊。本實用新型噴嘴噴頭要求加工尺寸精確，表面光滑（表面經光滑處理），混合氣流沿噴頭垂直進入氣場，均勻擴撒，再通過不同尺寸噴嘴的合理搭配，減弱爐內熱場溫度梯度，使熱場得到最大平衡，并能充分確保氣流速度、氣流分布及達到預定氣流高度，能有效降低倒棒率及提高硅棒沉積效率及外觀質量。?