[實用新型]基于微偏振片陣列的數字電子剪切散斑干涉儀

有效

• 申請號: 201320011718.1
• 申請日: 2013-01-10
• 公開（公告）號: CN203053851U
• 公開（公告）日: 2013-07-10
• 發明（設計）人: 張志剛;張青川;符師樺;程騰;張勇
• 申請（專利權）人: 南京中迅微傳感技術有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/88;G02B27/28
• 代理公司: 南京天翼專利代理有限責任公司 32112
• 代理人: 蔣家華;查俊奎

1.基于微偏振片陣列的數字電子剪切散斑干涉儀，包括激光器(1)、位于激光器(1)出射光束光路上的擴束鏡(2)和被測物體(3)；其特征在于：還包括位于從被測物體(3)表面反射的光束的光路上且用于得到偏振方向相互垂直的兩束相干線偏振光的剪切器、設置從剪切器出射的光束的光路上的微偏振片陣列(10)、與微偏振片陣列(10)相連的感光元件(11)和與感光元件(11)相連的用于對感光元件(11)采集的信號進行傳輸和處理的處理設備(12)。

2.根據權利要求1所述的基于微偏振片陣列的數字電子剪切散斑干涉儀，其特征在于：所述剪切器包括位于從被測物體(3)表面反射的光束的光路上的透鏡(13)、位于從透鏡(13)透射出的光束的光路上的偏振分光棱鏡(4)、位于偏振分光棱鏡(4)透射出的光束光路上的第一四分之一波片(5)、位于第一四分之一波片(5)透射出光束的光路上的第一反射機構(6)、位于偏振分光棱鏡(4)反射出的光束的光路上的第二四分之一波片(7)、位于第二四分之一波片(7)透射出光束的光路上的第二反射機構(8)和位于偏振分光棱鏡(4)上第二次透射與反射出的光束的光路上的第三四分之一波片(9)。

3.根據權利要求2所述的基于微偏振片陣列的數字電子剪切散斑干涉儀，其特征在于：所述第一四分之一波片(5)與第二四分之一波片(7)垂直。

4.根據權利要求2或3所述的基于微偏振片陣列的數字電子剪切散斑干涉儀，其特征在于：所述第三四分之一波片(9)與第一四分之一波片(5)垂直且同時與第二四分之一波片(7)平行。

5.根據權利要求2所述的基于微偏振片陣列的數字電子剪切散斑干涉儀，其特征在于：所述第一反射機構(6)與第二反射機構(8)均包括反射鏡和與反射鏡相連的用來調節反射鏡偏轉角度的偏轉機構。

6.根據權利要求1所述的基于微偏振片陣列的數字電子剪切散斑干涉儀，其特征在于：所述剪切器包括位于從被測物體(3)表面反射的光束的光路上的透鏡(13)、位于從透鏡(13)透射出的光束的光路上的沃倫斯頓棱鏡(14)和位于從沃倫斯頓棱鏡(14)出射光束的光路上的第三四分之一波片(9)。

7.根據權利要求1所述的基于微偏振片陣列的數字電子剪切散斑干涉儀，其特征在于：所述的處理設備為計算機或微處理器。