[實用新型]一種用于化學氣相沉積爐的活接頭導氣工裝

有效

• 申請號: 201320011003.6
• 申請日: 2013-01-10
• 公開（公告）號: CN203007412U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 崔金;康志衛;羅中保;姚勇剛;蔣建純
• 申請（專利權）人: 湖南南方搏云新材料有限責任公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 長沙星耀專利事務所 43205
• 代理人: 姜芳蕊;寧星耀

技術領域

本實用新型涉及一種活接頭導氣工裝，尤其涉及一種用于化學氣相沉積爐的活接頭導氣工裝。

背景技術

采用化學氣相沉積/滲透（CVD/CVI）技術制備的炭/炭復合材料，具有結構致密、微裂紋少、熱解碳結構可控、性能高等特點。但是，采用該技術制備高密度（1.0～1.8?g/cm³）炭/炭熱場部件周期長，制備成本高，實際生產中為降低制備成本，目前，一般采取提高批次裝爐量的措施來彌補。

CN?102560425?A公開了一種化學氣相沉積爐，其中記載了一種噴嘴導氣工裝，該噴嘴用高強石墨或炭/炭復合材料制成。但用高強石墨制作的噴嘴容易破碎，容易脫落；而用炭/炭復合材料制作的噴嘴因爐體振動而容易脫落，氣體不能可靠地送入沉積區，導氣可靠性差。氣體在爐內彌漫，在高溫區無效反應將導致加熱器上產生大量積碳，加熱器電極易堆積大量碳黑碳塵，加熱器電極易短路、打弧三相不平衡；真空管閥易污染，爐體和真空過濾裝置的清理難度非常大。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是，克服現有技術存在的上述缺陷，提供一種導氣可靠性高的用于化學氣相沉積爐的活接頭導氣工裝。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種用于化學氣相沉積爐的活接頭導氣工裝，包括活接頭、連接管Ⅰ、連接管Ⅱ，所述連接管Ⅰ、連接管Ⅱ與活接頭通過焊接固定或通過螺紋連接固定，連接管Ⅰ端部與設于化學氣相沉積爐上配氣環相連接。

進一步，所述連接管Ⅰ、連接管Ⅱ均為“Z”形連接管，構成“Z”形導氣工裝，“Z”形導氣工裝通過連接管Ⅰ與設于化學氣相沉積爐底部的配氣環相連接；所述連接管Ⅰ端部設有螺紋。

進一步，所述連接管Ⅰ、連接管Ⅱ還可均為“一”形連接管，構成“一”形導氣工裝，“一”形導氣工裝通過連接管Ⅰ與設于化學氣相沉積爐中部的配氣環相連接；所述連接管Ⅰ端部設有螺紋。

進一步，所述活接頭、連接管Ⅰ、連接管Ⅱ的材質均為不銹鋼。

本實用新型與現有技術相比，具有以下優點：

（1）本實用新型加工制造容易，安裝拆卸方便，導氣可靠性高；

（2）本實用新型工裝的螺紋與化學氣相沉積爐上配氣環的螺紋相連接，即使化學氣相沉積爐爐體劇烈振動也不易掉落，能有效地將氣體全部導入所指定的區域空間，以利于提高沉積效率，使化學氣相沉積爐內碳氫氣體濃度均勻，沉積反應均勻，提高產品密度的均勻性，進而提高產品的質量；

（3）使用本實用新型，碳氫氣體能在指定的區域空間內沉積，加熱器電極位置和真空過濾裝置不會積碳，化學氣相沉積爐加熱器三相不會短路，可以大大降低了爐體和真空過濾裝置的清理工作量，提高了化學氣相沉積/滲透（CVD/CVI）的可靠性和有效性。

附圖說明

圖1為本實用新型“Z”?形導氣工裝結構示意圖；

圖2為本實用新型“一”形導氣工裝結構示意圖；

圖3為本實用新型的工裝在化學氣相沉積爐中的應用示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。

本實施例包括活接頭3、連接管Ⅰ1、連接管Ⅱ2，所述連接管Ⅰ1、連接管Ⅱ2與活接頭3通過焊接固定或通過螺紋連接固定，連接管Ⅰ1端部與設于化學氣相沉積爐12上配氣環13相連接。

參照圖1，當連接管Ⅰ1、連接管Ⅱ2均為“Z”形連接管時，構成“Z”形導氣工裝7，“Z”形導氣工裝7通過連接管Ⅰ1與設于化學氣相沉積爐12底部的配氣環13-1相連接（參見圖3）；所述連接管Ⅰ1端部設有螺紋4。

參照圖2，當連接管Ⅰ1、連接管Ⅱ2均為“一”形連接管時，構成“一”形導氣工裝8，“一”形導氣工裝8通過連接管Ⅰ1與設于化學氣相沉積爐12中部的配氣環13-2相連接；所述連接管Ⅰ1端部設有螺紋4。

應用實施例1

參照圖3，使用本實用新型對外徑￠640mm，內徑￠590mm，高725mm的PAN基三維針刺坯體3件，進行化學氣相沉積/滲透（CVD/CVI）增密，以制備炭/炭復合材料，其化學氣相沉積/滲透（CVD/CVI）增密過程如下：

（1）制作本實用新型的導氣工裝：如圖1所示的“Z”形導氣工裝9件，如圖2所示的“一”形導氣工裝6件；

（2）將9件“Z”形導氣工裝7安裝在化學氣相沉積爐12的底部，將6件“一”形導氣工裝8安裝在化學氣相沉積爐12的中部，以利于將氣體導入指定區域，即坯體9的外側與工裝筒10內側之間的區域；