[實用新型]一種探針卡

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320010793.6
• 申請日: 2013-01-09
• 公開（公告）號: CN203204030U
• 公開（公告）日: 2013-09-18
• 發(fā)明（設計）人: 黃震宇;呂業(yè)亮;俞琪云
• 申請（專利權(quán)）人: 比亞迪股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 張大威

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導體測試裝置，具體涉及一種探針卡。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的功率器件晶圓測試的測試臺的基本結(jié)構(gòu)如圖1a所示，底部是起承載作用的測試基座3′，該測試基座3′上方固定有被測晶圓2′，被測晶圓2′上包括多個被測器件（device?under?test，DUT）4′逐個地被探針卡進行檢測。上方的探針卡包括印刷電路基板1′和多條金屬布線5′和探針7′，其中，多條金屬布線5′通常為上下兩層金屬布線，探針7′的一端通過焊接金屬布線5′與印刷電路基板1′相連，探針7′的另外一端接觸被測器件DUT4′的正面金屬。通常將電信號施加于被測晶圓2′的背面，測試儀器通過施加信號給探針卡，從而將信號通過探針7′施加于被測器件DUT4′上，完成測試。

隨著半導體功率器件的不斷發(fā)展，晶圓測試的電壓在不斷升高，測試器件的管芯面積也在不斷增加。如圖1b當測試電壓提高到千伏以上時，被測器件DUT4′由于暴露在印刷電路基板1′和測試基座3′之間的高電場中，受金屬布線5′的位置影響，該高電場的空間分布是不均勻的，受此影響的被測器件DUT4′經(jīng)常會發(fā)生表面打火或是電干擾導致的測試結(jié)果異常。

為避免高壓測試所帶來的問題，現(xiàn)有技術(shù)包括將整個測試環(huán)境抽真空，或是充入絕緣油脂等手段，隔離空氣，解決打火問題。但目前各種技術(shù)手段均需要使用特殊的測試機臺，無法在普通測試機臺完成，生產(chǎn)成本高；并且由于需要抽真空或填入油脂，導致測試效率低下；以及高電場帶來的電干擾的問題無法得到解決。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型旨在至少在一定程度上解決上述技術(shù)問題之一或至少提供一種有用的商業(yè)選擇。為此，本實用新型的目的在于提出一種具有能防表面打火，抗電干擾，成本低的探針卡。

根據(jù)本實用新型實施例的探針卡，包括：印刷電路基板；位于所述印刷電路基板的上表面的多條上層金屬連線；位于所述印刷電路基板的下表面的下層金屬覆膜，所述下層金屬覆膜用于靜電屏蔽；以及多個探針，所述探針的一端與所述上層金屬連線相連，另一端與被測器件的正面金屬相接觸；以及基板孔，所述基板孔位于所述印刷電路基板上，用于定位探針卡的落針位置。

在本實用新型的一個實施例中，所述多個探針通過所述上層金屬連線與測試儀器的信號施加端源端、信號測量端源端、信號施加端漏端、信號量測端漏端相連。

在本實用新型的一個實施例中，所述探針的個數(shù)小于或等于所述上層金屬連線的條數(shù)。

在本實用新型的一個實施例中，所述上層金屬連線的至少一條與所述測試儀器的信號施加端源端相連。

本實用新型的探針卡同目前業(yè)內(nèi)測試機臺完全兼容，使用成本低；因無需抽真空或添加油脂，測試效率高；由于增加了金屬覆膜，能夠有效防止了打火問題，解決了因打火問題而導致的晶圓良率損失。

本實用新型的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。

附圖說明

本實用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從結(jié)合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1a是現(xiàn)有的探針卡基本結(jié)構(gòu)示意圖

圖1b是現(xiàn)有的探針卡測試示意圖（剖面圖）

圖2a是本實用新型實施例的探針卡基本結(jié)構(gòu)示意圖

圖2b是本實用新型實施例的探針卡測試示意圖（剖面圖）

圖3是本實用新型實施例的帶有基板孔和測試儀器端口的探針卡的示意圖（俯視圖）

具體實施方式

下面詳細描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，旨在用于解釋本實用新型，而不能理解為對本實用新型的限制。

在本實用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內(nèi)”、“外”、“順時針”、“逆時針”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。

此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個或者更多個該特征。在本實用新型的描述中，“多個”的含義是兩個或兩個以上，除非另有明確具體的限定。