[實用新型]精密波長調諧裝置

有效

• 申請號: 201320007986.6
• 申請日: 2013-01-08
• 公開（公告）號: CN203133390U
• 公開（公告）日: 2013-08-14
• 發明（設計）人: 耿立明;張海波;袁志軍;周軍;魏運榮;姜麗媛
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種精密波長調諧裝置，其特征在于：該裝置由擴束器（1）、光柵裝調架（2）、閃耀光柵（3）、旋轉平臺（4）、連桿（5）、直線伺服控制平臺（6）、第一圓柱銷（7）和第二圓柱銷（8）組成，所述的旋轉平臺（4）由安裝底座（4.1）和旋轉載物臺（4.2）組成,且旋轉載物臺（4.2）邊緣設計有螺紋孔（4.2.1），所述的閃耀光柵（3）通過光柵裝調架（2）固定在旋轉載物臺（4.2）上，所述的連桿（5）的兩端各有一個銷孔，所述的直線伺服控制平臺（6）的載物臺邊緣設計有一螺紋孔（6.1），第一圓柱銷（7）和第二圓柱銷（8）均由螺帽、圓柱形銷和底部螺桿三部分組成，將第一圓柱銷（7）插入所述的連桿（5）一銷孔，并將第一圓柱銷（7）通過其底部螺桿固定在所述的旋轉載物臺（4.2）上，第一圓柱銷（7）和連桿（5）形成第一轉動副，將第二圓柱銷（8）插入所述的連桿（5）另一銷孔中，并將第二圓柱銷（8）通過其底部螺桿固定在所述的直線伺服控制平臺（6）的載物臺上，第二圓柱銷（8）和連桿（5）形成第二轉動副，所述的旋轉平臺（4）、連桿（5）、直線伺服控制平臺（6）、第一圓柱銷（7）和第二圓柱銷（8）構成曲柄滑塊機構，將所述的直線伺服控制平臺（6）的直線運動轉換為旋轉平臺（4）的回轉運動，實現閃耀光柵（3）旋轉，使光束入射到所述的閃耀光柵（3）的入射角發生改變，實現波長精密調諧。?

2.根據權利要求1所述的精密波長調諧裝置，其特征在于所述的擴束器（1）為棱鏡擴束器或望遠鏡式擴束器，擴束器（1）的擴束率為15~23。?

3.根據權利要求1所述的精密波長調諧裝置，其特征在于所述的閃耀光柵（3）為反射式光柵，光柵常數為1/94.13mm，閃耀角為79°，波長193nm?時的衍射級次為108。?

4.根據權利要求1所述的精密波長調諧裝置，其特征在于所述的旋轉平臺（4）由安裝底座（4.1）和旋轉載物臺（4.2）組成，安裝底座（4.1）和旋轉載物臺（4.2）之間采用精密軸承連接，保證旋轉載物臺（4.2）轉動時的穩定性，且旋轉載物臺（4.2）邊緣設計有螺紋孔（4.2.1）。?

5.根據權利要求1所述的精密波長調諧裝置，其特征在于所述的裝置的波長調諧精度為：?

其中：d、α和k分別為閃耀光柵（3）的光柵常數、光柵閃耀角和衍射級次，δl為直線伺服控制平臺（6）的最小位移量，r為旋轉平臺（4）的中心到螺紋孔（4.2.1）中心的距離，L為連桿（5）的兩個銷孔中心之間的距離。?