[發(fā)明專利]一種圖案化研磨板的方法以及圖案化的研磨板

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310757298.6
• 申請日: 2013-12-16
• 公開（公告）號: CN103862362A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: R·L·穆德里;J·W·赫恩
• 申請（專利權(quán)）人: 希捷科技有限公司
• 主分類號: B24B37/11
• 分類號: B24B37/11;G11B5/127
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 邢德杰

背景技術(shù)

硬盤驅(qū)動系統(tǒng)(Hard?disc?drive?system，HDD)典型地包括一個或多個數(shù)據(jù)存儲磁盤。由滑塊攜帶的換能頭被用于讀或?qū)懘疟P上的數(shù)據(jù)磁道?；瑝K由臂組件攜帶，臂組件包括致動器臂和懸掛組件，其可包括單獨的萬向架結(jié)構(gòu)或可整體形成萬向架。

存儲在磁盤上的數(shù)據(jù)的密度持續(xù)增加，需要換能頭的更精確定位。常規(guī)地，在很多系統(tǒng)中，頭部定位通過操作帶大型致動電機(jī)的致動器臂來完成，例如音圈電機(jī)，以在驅(qū)動臂末端的彎體上定位頭部。高分辨率頭部定位機(jī)制，或微致動器，有助于提供高數(shù)據(jù)密度。微致動器通常是壓電微致動器。

在HDD系統(tǒng)中各種元件之間的電性連接應(yīng)當(dāng)是牢固的、防斷開的，并且具有好的導(dǎo)電性。改進(jìn)的電性連接總是合需的。本公開提供了帶改進(jìn)的電性連接的滑塊和換能頭。

發(fā)明內(nèi)容

本公開的一個特定實施例是一種圖案化研磨板的方法。該方法包括提供具有包含多個凸齒的圖案的操作工具，每個凸齒具有基座、至少一個側(cè)壁、以及終端，并且用工具圖案化該研磨板以在研磨板的工作面中提供具有工具表面相反圖案的工作面，圖案化處理塑性地使該研磨板的工作面變形。

本公開的另一個特定實施例是一種圖案化的研磨板。該研磨板包括工作面，該工作面包括由連續(xù)接觸區(qū)域分隔的多個離散鋸齒。每個鋸齒具有從工作面至鋸齒終端不大于100微米的深度，從工作面延伸至鋸齒終端的傾斜側(cè)壁、以及工作面處不大于1000微米的最大尺寸鋸齒。

本公開的另一個特定實施例是一種圖案化的研磨板。該研磨板包括工作面，該工作面包含在研磨板中心軸附近呈螺旋狀形成多個線匝的槽，并且接觸區(qū)域位于螺旋槽的相鄰線匝之間。該槽具有從工作面延伸至槽終端的傾斜側(cè)壁，從工作面至終端不大于100微米的深度，以及沿著槽長度的可變寬度。

這些以及各種其他特征和優(yōu)點通過閱讀以下詳細(xì)說明將變得很明顯。

附圖說明

結(jié)合所附附圖，本公開可以結(jié)合本公開各種實施例的以下詳細(xì)描述而被更加完整地理解，其中：

圖1是磁記錄磁盤驅(qū)動器和滑塊組件的部分側(cè)視圖。

圖2是圖1的磁記錄磁盤驅(qū)動器和滑塊組件的頂視圖。

圖3A是研磨板和滑塊條實施例的圖解側(cè)視圖；圖3B是研磨板和滑塊條可選實施例的圖解側(cè)視圖。

圖4是依照本公開實施例構(gòu)造的圖案化研磨板的俯視圖。

圖5是依照本公開實施例構(gòu)造的圖案化研磨板的放大俯視圖。

圖6A是依照本公開實施例的研磨板實施例的截面圖；圖6B是依照本公開實施例的研磨板另一個實施例的截面圖。

圖7是依照本公開實施例用于形成研磨板的處理的透視圖。

圖8是在本公開實施例中使用的圖案化工具的帶放大插圖的透視圖。

圖9是在本公開實施例中使用的另一個圖案化工具的帶放大插圖的透視圖。

具體實施方式

本實施例最一般地涉及研磨工具的制造。為了本說明書的目的，盡管沒有這么限制，參考在高精度研磨滑塊中研磨工具的使用以及在數(shù)據(jù)存儲設(shè)備中使用的支撐磁換能頭?；瑝K以及特別是頭部，可操作地用于存儲和獲取在可旋轉(zhuǎn)磁記錄磁盤上的數(shù)據(jù)，需要極其精確的制造公差。本公開提供了一種研磨帶研磨板的滑塊或具有圖案化工作面的壓磨板的方法。

研磨處理利用橫過旋轉(zhuǎn)研磨板的滑塊條的振動或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動以提供滑塊條在研磨板上方隨機(jī)運(yùn)動以及在研磨過程中隨機(jī)化在頭部表面的板缺陷。某些研磨板具有無研磨的水平工作面并且被與磨料顆粒(舉例來說，金剛石)漿體結(jié)合使用，而其他研磨板具有嵌入在水平工作面內(nèi)的磨料顆粒(舉例來說，金剛石)。中斷研磨表面的一般想法，例如通過在研磨板上形成槽，在業(yè)內(nèi)是公知的。圖案化的表面減少了工作面上滑塊條的水滑并且液體和碎屑(鐵屑)被離心地移出研磨板的外圍。

槽板存在的問題，例如，由于缺乏與滑塊條的接觸，槽過寬和/或過深會使磨料顆粒失去其有效性。太寬的槽提供的表面不連續(xù)性對小工作片而言太嚴(yán)重。即使槽可被正確地確定大小，形成該槽可能成本高昂并且耗時。此外，隨著時間流逝研磨板磨損和變鈍，需要工作面的重新打磨，其再次可能是耗時且昂貴的，并且其大大地縮短了研磨板的整體使用壽命。通過在研磨板上形成圖案，按照本公開，對傳統(tǒng)槽板的改進(jìn)被注意到。由于圖案化處理塑性地使研磨板表面而不是移除材料變形，研磨板的使用壽命通過提供圖案化表面的重復(fù)打磨而被延長。此外，與由其他方法圖案化的研磨板相比在由本公開方法圖案化的研磨板上研磨的滑塊條降低了微波紋。