[發明專利]用于減小紅外(IR)探測器的環境光靈敏度的系統和方法

有效

• 申請號: 201310756877.9
• 申請日: 2013-11-04
• 公開（公告）號: CN103808416B
• 公開（公告）日: 2022-01-11
• 發明（設計）人: J·T·瓊斯;N·D·謝內斯;S·K·徐;A·查馬庫拉;C·F·愛德華茲;D·斯庫爾尼克;P·J·本澤爾;N·A·凱斯特利
• 申請（專利權）人: 馬克西姆綜合產品公司
• 主分類號: G01J5/10
• 分類號: G01J5/10
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 舒雄文;蹇煒

1.一種紅外探測器系統，包括：

基底；

紅外光發射器，所述紅外光發射器形成在所述基底中并被配置為發射紅外光；

形成于所述基底中的傳感器，所述傳感器被配置為探測朝向所述傳感器的由所述紅外光發射器發射并由物體反射的紅外光并且對其作出響應而提供信號，其中，所述傳感器是姿態傳感器；

第一金屬層，所述第一金屬層部分地形成在所述傳感器之上，其中，所述第一金屬層被安置成將紅外光引向所述傳感器，并且被配置為有利于獲得用于所述紅外探測器系統的期望的陰影；

第二金屬層，所述第二金屬層部分地形成在所述傳感器之上，其中，所述第二金屬層被安置成將所述紅外光引向所述傳感器，并且被配置為有利于獲得用于所述紅外探測器系統的期望的陰影；

安置于所述傳感器、所述第一金屬層以及所述第二金屬層之上的光學濾波器，其中，所述光學濾波器是形成在所述紅外光發射器的部分之上的濾波器疊層，并設置在玻璃涂層上，其中所述濾波器疊層包括層疊在紅色濾波器上的藍色濾波器，并且其中所述光學濾波器被配置為用于至少防止朝向所述傳感器指向的光的可見成份到達所述傳感器，所述光學濾波器還被配置為允許朝向所述傳感器指向的所述光的選擇的紅外成份通過所述光學濾波器到達所述傳感器；

第一緩沖層，所述第一緩沖層設置在所述第一金屬層與所述光學濾波器之間；

第二緩沖層，所述第二緩沖層設置在所述第一金屬層與所述第二金屬層之間；以及

第三緩沖層，所述第三緩沖層設置在所述第二金屬層與所述基底之間，

其中所述第一緩沖層、所述第二緩沖層以及所述第三緩沖層形成在所述傳感器的部分和所述紅外光發射器的部分之上。

2.根據權利要求1所述的紅外探測器系統，其中，所述基底是硅晶片。

3.根據權利要求1所述的紅外探測器系統，其中，所述光學濾波器是吸收濾波器。

4.根據權利要求1所述的紅外探測器系統，其中，所述光學濾波器是干涉濾波器。

5.根據權利要求1所述的紅外探測器系統，其中，所述光發射器是發光二極管。

6.一種姿態探測器系統，包括：

基底；

紅外光發射器，所述紅外光發射器形成在所述基底中并被配置為發射紅外光；

形成在所述基底中的姿態傳感器，所述姿態傳感器被配置為探測朝向所述姿態傳感器的由所述紅外光發射器發射并由物體反射的紅外光并且對其作出響應而提供信號；

第一金屬層，所述第一金屬層部分地形成在所述姿態傳感器之上，其中，所述第一金屬層被安置成將紅外光引向所述姿態傳感器，并且被配置為有利于獲得用于所述姿態探測器系統的期望的陰影；

第二金屬層，所述第二金屬層部分地形成在所述姿態傳感器之上，其中，所述第二金屬層被安置成將所述紅外光引向所述姿態傳感器，并且被配置為有利于獲得用于所述姿態探測器系統的期望的陰影；

安置于所述姿態傳感器、所述第一金屬層以及所述第二金屬層之上的至少一個吸收濾波器，其中，所述至少一個吸收濾波器是形成在所述紅外光發射器的部分之上的濾波器疊層，并設置在玻璃涂層上，其中所述濾波器疊層包括層疊在紅色濾波器上的藍色濾波器，并且其中所述至少一個吸收濾波器被配置為用于吸收朝向所述姿態傳感器指向的光的可見成份，以至少阻止所述光的所述可見成份到達所述姿態傳感器，所述至少一個吸收濾波器還被配置為允許朝向所述姿態傳感器指向的所述光的選擇的紅外成份通過所述至少一個吸收濾波器到達所述姿態傳感器；

第一緩沖層，所述第一緩沖層設置在所述第一金屬層與所述至少一個吸收濾波器之間；

第二緩沖層，所述第二緩沖層設置在所述第一金屬層與所述第二金屬層之間；以及

第三緩沖層，所述第三緩沖層設置在所述第二金屬層與所述基底之間，

其中所述第一緩沖層、所述第二緩沖層以及所述第三緩沖層形成在所述姿態傳感器的部分和所述紅外光發射器的部分之上，

其中，所述姿態探測器系統是單LED姿態探測器系統。

7.根據權利要求6所述的姿態探測器系統，其中，所述至少一個吸收濾波器包括第一吸收濾波器，所述第一吸收濾波器層疊在第二吸收濾波器上。