[發明專利]光譜儀及工作方法

有效

• 申請號: 201310756582.1
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN103712692A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 華道柱;張良;黃偉;葉華俊
• 申請（專利權）人: 聚光科技(杭州)股份有限公司
• 主分類號: G01J3/45
• 分類號: G01J3/45;G01J3/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光譜儀，所述光譜儀包括光源、探測器，其特征在于：所述光譜儀進一步包括：

分束器，所述分束器設置在所述光源發出的測量光的光路上，用于將所述測量光分出第一光束和第二光束；

第一反射單元，所述第一反射單元用于將所述第一光束反射到第三反射單元；

第二反射單元，所述第二反射單元用于將所述第二光束反射到所述第三反射單元；

第三反射單元，所述第三反射單元的一個側面將所述第一光束反射到第四反射單元，另一側面將所述第二光束反射到第五反射單元；所述第三反射單元的反射面與所述分束器的反射面間的夾角為銳角；

第四反射單元，所述第四反射單元用于反射所述第一光束，使得第一光束原路返回到所述分束器，并進入所述探測器；

第五反射單元，所述第五反射單元用于反射所述第二光束，使得第二光束原路返回到所述分束器，并進入所述探測器；

運動機構，所述運動機構用于平移和／或轉動所述第三反射單元。

2.根據權利要求1所述的光譜儀，其特征在于：所述第三反射單元的所述位置是由與分束器的反射面平行且中軸線共線的位置轉動而來。

3.根據權利要求1所述的光譜儀，其特征在于：所述光譜儀進一步包括：

調節機構，所述調節機構用于調節所述第四反射單元和第五反射單元的位置。

4.根據權利要求1所述的光譜儀，其特征在于：所述測量光在所述分束器上分出反射的第一光束和透射的第二光束。

5.根據權利要求1所述的光譜儀，其特征在于：所述第一反射單元和第二反射單元關于所述分束器對稱設置。

6.根據權利要求5所述的光譜儀，其特征在于：所述第三反射單元的兩個反射面平行。

7.一種光譜儀的工作方法，所述工作方法包括以下步驟：

(A1)光源發出的測量光在分束器上分出第一光束和第二光束；

(A2)所述第一光束經過第三反射單元的一個反射面后入射到第四反射單元，經過反射后原路返回到所述分束器，之后進入探測器；

所述第二光束經過第三反射單元的另一個反射面后入射到第五反射單元，經過反射后原路返回到所述分束器，之后進入所述探測器；

所述第三反射單元的反射面和分束器的反射面間的夾角為銳角；

(A3)平移或轉動所述第三反射單元，使得第一光束和第二光束從所述分束器射出、返回的光程差不同。

8.根據權利要求7所述的工作方法，其特征在于：所述第一光束經過第一反射單元反射后入射到所述第三反射單元，所述第二光束經過第二反射單元后入射到所述第三反射單元。

9.根據權利要求8所述的工作方法，其特征在于：所述第一反射單元和第二反射單元關于所述分束器對稱設置。

10.根據權利要求7所述的工作方法，其特征在于：當所述第三反射單元轉動時，步驟(A3)進一步包括以下步驟：

調節步驟，用于調節所述第四反射單元和第五反射單元的位置，使得第一光束和第二光束原路返回到所述分束器。