[發明專利]抽真空系統氣體抽除速度測量裝置及其方法的應用

有效

• 申請號: 201310754775.3
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN103743442A
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發明（設計）人: 吳標平;譚國棠;胡雙麗;丘福生
• 申請（專利權）人: 中山凱旋真空技術工程有限公司
• 主分類號: G01F1/34
• 分類號: G01F1/34
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 闞梓瑄

1.一種抽真空系統氣體抽除速度測量裝置，用于抽真空系統抽真空的抽氣速度測量，所述抽真空系統包括真空機組、抽真空管道和閥門，其特征在于，所述抽真空速度標定系統包括真空傳感器、定流量進氣裝置和控制裝置，所述真空傳感器和所述定流量進氣裝置均連通設置在所述抽真空管道上，所述控制裝置以電氣測控形式連接所述定流量進氣裝置和所述真空傳感器，所述控制裝置控制所述定流量進氣裝置動作、采集所述定流量進氣裝置和所述真空傳感器的數據信息并進行計算和存儲，確定所述真空傳感器測得的真空度的數值與所述定流量進氣裝置的氣體流量數值的關系。

2.如權利要求1所述的抽真空系統氣體抽除速度測量裝置，其特征在于，所述定流量進氣裝置包括多個并聯設置的微定流量器，每個所述微定流量器均包括兩個相通的第一通口和第二通口，所述第一通口與所述抽真空管道連通，所述第二通口連通閥門。

3.如權利要求2所述的抽真空系統氣體抽除速度測量裝置，其特征在于，所述微定流量器分別為Q1、Q2…、Qx、…Qn，對應的通氣量分別為S1、S2…、Sx、…Sn，各所述微定流量器的通氣量滿足下列關系：Sx=2^x×S1。

4.如權利要求3所述的抽真空系統氣體抽除速度測量裝置，其特征在于，所述微定流量器Q1、Q2…、Qx、…Qn之間能夠任意組合開啟。

5.如權利要求1所述的抽真空系統氣體抽除速度測量裝置，其特征在于，所述真空傳感器安裝于一測量室，所述測量室通過一閥門連通所述抽真空管道。

6.一種抽真空系統氣體抽除速度測量方法，其特征在于，包括如下步驟：

（11）僅對抽真空系統中的抽真空管道抽真空，直至測得的抽真空管道真空度在連續一段時間內不再有明顯提高；

（12）向所述抽真空管道中微定量進氣，并同時檢測所述真空管道中的真空度，將該定量氣體流量與該真空度的數值進行關聯；

（13）改變微定量進氣值后重復所述步驟（12），并將所有相關聯的定量氣體流量與真空度數值一一對應進行關聯；

（14）對上述各關聯點進行擬合，以得到在高真空狀態下真空度與氣體流量之間的關系曲線；

（15）對真空容器進行抽真空，真空容器運行到較高真空狀態時，在抽真空系統運行的同時檢測抽真空管道的真空度；

（16）根據所述步驟（15）中的真空度數值以及所述步驟（14）中真空度與氣體流量之間的關系曲線確定抽真空系統氣體抽除速度。

7.如權利要求6所述的抽真空系統氣體抽除速度測量方法，其特征在于，所述抽真空系統中抽真空管道和真空機組任一裝置和參數改變時都需要重新進行所述步驟（11）-（14）。

8.一種真空干燥處理物出水率測量方法，其特征在于，包括如下步驟：

（21）通過所述權利要求6中方法得到在較高真空狀態下真空度與氣體流量之間的關系曲線；

（22）將被干燥物置于真空容器中，在抽真空系統運行到較高真空狀態時，在抽真空系統運行的同時檢測抽真空管道的真空度、溫度和露點值；

（23）根據所述步驟（22）中的真空度數值以及所述步驟（21）中真空度與氣體流量之間的關系曲線確定抽真空系統氣體抽除速度；

（24）根據所述步驟（22）中檢測到的真空度、溫度和露點值以及所述步驟（23）中得到的氣體抽除速度來確定所述被干燥物的出水率。

9.如權利要求8所述的真空干燥處理物出水率測量方法，其特征在于，所述溫度通過一溫度傳感器測量，所述露點值通過一露點儀測量，所述真空傳感器、溫度傳感器和露點儀安裝于一測量室，所述測量室通過一閥門連通所述抽真空管道。

10.如權利要求8所述的真空干燥處理物出水率測量方法，其特征在于，所述出水率為：W=0.00793×ΔP×a×[273/(273+γ)]/T；其中：

W為出水率，單位為g/（t×h）；

ΔP為氣體0℃時水分壓，單位為Pa，通過氣體的露點值和溫度換算得到；

а為抽速，單位為m³/h，通過測量真空度得到；

T為被干燥物中被干燥部分總質量，單位為t（噸）；

γ為氣體溫度，單位為℃。