[發明專利]一種鍍膜機坩堝設備

有效

• 申請號: 201310753996.9
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN103757590A
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發明（設計）人: 張鑫狄;李冠政
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/54
• 代理公司: 廣東廣和律師事務所 44298
• 代理人: 劉敏

1.一種鍍膜機坩堝設備(100)，其特征在于，所述鍍膜機坩堝設備(100)包括桶狀結構(112)、多個加熱器(120)、坩堝(110)、多個溫度傳感器(160)及多個驅動機構(200)，所述多個加熱器(120)縱向分布在所述桶狀結構(112)內并用于對所述坩堝(110)內的材料進行加熱，所述多個溫度傳感器(160)縱向分布在所述坩堝(110)內以測量所述坩堝(110)內的溫度，所述多個驅動機構(200)用于使所述多個加熱器(120)中的至少一個加熱器(120)縱向移動以控制所述坩堝(110)內的溫度分布。

2.根據權利要求1所述的鍍膜機坩堝設備(100)，其特征在于，所述多個加熱器(120)包括纏繞在所述桶狀結構(112)的內壁上的加熱電熱絲(122)，所述坩堝(110)位于所述桶狀結構(112)內部，所述多個加熱器(120)位于所述坩堝(110)的外壁與所述桶狀結構(112)的內壁之間。

3.根據權利要求2所述的鍍膜機坩堝設備(100)，其特征在于，所述加熱電熱絲(122)的分布密度沿縱向不同。

4.根據權利要求1所述的鍍膜機坩堝設備(100)，其特征在于，所述多個溫度傳感器(160)包括位于所述坩堝(110)的縱向不同區域的多個熱電偶。

5.根據權利要求1所述的鍍膜機坩堝設備(100)，其特征在于，所述坩堝(110)的下部設置有隔熱墊(132)，所述坩堝(110)的上部設有隔熱罩(150)。

6.根據權利要求1所述的鍍膜機坩堝設備(100)，其特征在于，所述坩堝(110)具有容納部(104)及出口部，所述容納部(104)與所述出口部連通，所述出口部具有一個出氣口(102)或多個出氣口。

7.根據權利要求1至6任一項所述的鍍膜機坩堝設備(100)，其特征在于，所述多個驅動機構(200)包括分別位于所述桶狀結構(112)的兩側的左驅動機構組和右驅動機構組，所述左驅動機構組和所述右驅動機構組對稱分布。

8.根據權利要求7所述的鍍膜機坩堝設備(100)，其特征在于，所述多個驅動機構(200)包括至少十二個驅動機構。

9.根據權利要求8所述的鍍膜機坩堝設備(100)，其特征在于，各驅動機構(200)均具有驅動源(202)和傳動桿結構，所述傳動桿結構用于將驅動源(202)的動力傳遞至所述至少一個加熱器(120)。

10.根據權利要求9所述的鍍膜機坩堝設備(100)，其特征在于，所述傳動桿結構包括橫向傳動桿(204)及縱向傳動桿(206)，所述橫向傳動桿(204)與所述驅動源(202)連接并穿過所述桶狀結構(112)的壁部與所述縱向傳動桿(206)連接，所述縱向傳動桿(206)用于驅動所述至少一個加熱器(120)縱向移動。