[發明專利]用于噴墨打印有機薄膜晶體管的絕緣層修飾方法

有效

• 申請號: 201310753613.8
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN103762314A
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發明（設計）人: 邱龍臻;陳夢婕;王迎;林廣慶;陸紅波;王曉鴻;呂國強
• 申請（專利權）人: 合肥工業大學
• 主分類號: H01L51/40
• 分類號: H01L51/40
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

1.用于噴墨打印有機薄膜晶體管的絕緣層修飾方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）在基片的柵絕緣層上形成親水區域；

（2）將聚合物絕緣材料溶液旋涂在基片的柵絕緣層上形成聚合物絕緣層；

（3）用紫外光照使聚合物絕緣層內部發生交聯反應形成交聯聚合物絕緣層；

（4）通過改變紫外光照時長，不同程度的改善聚合物絕緣層的界面性質，以調控半導體墨滴單點和薄膜尺寸、形貌和結晶形態，從而調控器件電學性能。

2.根據權利要求1所述的用于噴墨打印有機薄膜晶體管的絕緣層修飾方法，其特征在于，所述的基片為硅基片、玻璃基片或塑料基片。

3.根據權利要求1所述的用于噴墨打印有機薄膜晶體管的絕緣層修飾方法，其特征在于，所述的紫外光的波長為254nm。

4.根據權利要求1所述的用于噴墨打印有機薄膜晶體管的絕緣層修飾方法，其特征在于，所述的紫外光照時間為0-120min，優選調控光照時間為0-60min。

5.根據權利要求1所述的用于噴墨打印有機薄膜晶體管的絕緣層修飾方法，其特征在于，所述的聚合物絕緣材料為聚苯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚丙烯酸酯類、聚丙烯腈、二烯類橡膠或聚甲基硅氧烷，優選聚苯乙烯。

6.根據權利要求1所述的用于噴墨打印有機薄膜晶體管的絕緣層修飾方法，其特征在于，所述的半導體墨滴溶液的溶劑為二氯苯、四氫化萘或苯甲醚。

7.一種基于權利要求1的有機薄膜晶體管，其特征在于，包括依次排列的柵電極、柵絕緣層、交聯聚合物絕緣層、有機半導體層和源漏電極，其中，所述交聯聚合物絕緣層即通過權利要求1所述方法制備，有機半導體層通過噴墨打印制得。

8.根據權利要求7所述的有機薄膜晶體管，其特征在于，所述的有機半導體層的半導體材料為小分子型半導體，優選6,13-雙（三異丙基硅烷基乙炔基）并五苯(TIPS-并五苯)、2,7-二癸基-[1]苯并噻吩[3,2-b][1]-苯并噻吩(BTBT)。

9.根據權利要求7所述的有機薄膜晶體管，其特征在于，所述的源漏電極由金、銀、鋁或者石墨烯制得。