[發明專利]立式氧化爐爐體半自動裝卸裝置

有效

• 申請號: 201310753241.9
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN103723659A
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 林欣家;郝琪
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: B66F9/06
• 分類號: B66F9/06;B66F9/12;B66F9/24;B66F9/075
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;陳慧弘

技術領域

本發明涉及硅片加工技術領域，特別涉及一種立式氧化爐爐體半自動裝卸裝置。

背景技術

半導體擴散設備是集成電路制造的重要工藝設備，是一種要求能長時間連續工作，具有優異的控溫精度及良好的可靠性、穩定性的自動控制設備，適用于集成電路制造過程中各種氧化、退火和薄膜生長等工藝。目前立式氧化爐設備在設備安裝初期或進行維護時，爐體的安裝或拆卸大多因安裝空間有限，爐體重量大等原因花費較多的人力和時間。通常設備廠商大都隨設備配備相應的爐體裝卸附件，用以輔助爐體的安裝或拆卸。現有的爐體裝卸附件大都結構、功能相對簡單，實現調整動作較少，現場安調依舊需要較多人員共同協助才能完成爐體的安裝或拆卸，且部分廠商設備在爐體安裝前通常使用叉車或其他設備先將爐體放置到裝卸附件上或是在拆卸時需要再用叉車或其他設備將爐體從裝卸附件中取下，爐體裝卸附不能通過裝卸附件一次性完成所有的安裝拆卸動作，還需借助其他設備，同樣還是需要花費現場人員較多的體力和時間。

因此，有必要提出一種能夠簡化立式氧化爐爐體安裝拆卸動作的爐體裝卸裝置。

發明內容

本發明的主要目的旨在提供一種結構優化的立式氧化爐爐體半自動裝卸裝置，以實現安裝或拆卸爐體動作簡單化。

為達成上述目的，本發明提供一種立式氧化爐爐體的裝卸裝置，包括主體框架，運輸定位機構，驅動傳動機構，升降鏈輪，升降鏈條以及承載機構。主體框架包括兩個垂直設置的立柱；運輸定位機構設于所述主體框架底部，以使所述主體框架水平移動或靜止定位；驅動傳動機構設置于所述主體框架的頂部；兩個升降鏈輪由所述驅動傳動機構驅動轉動；兩條升降鏈條分別繞接于所述驅動鏈輪；承載機構包括升降托板及叉板，所述升降托板兩側分別與所述兩條升降鏈條的一端固定連接且與所述立柱滑動連接，以隨所述升降鏈條的運動沿著所述立柱上升或下降；所述叉板具有垂直部分和水平部分，所述水平部分用于承載所述立式氧化爐爐體；所述垂直部分扣合于所述升降托板，由所述升降托板的運動帶動上升或下降。

優選地，所述驅動傳動機構包括驅動元件和傳動元件，所述傳動元件包括主動鏈輪、傳動鏈條、傳動鏈輪以及傳動軸；所述主動鏈輪安裝于所述驅動元件的輸出軸上，通過所述傳動鏈條與所述傳動鏈輪連接；所述傳動鏈輪與所述兩個升降鏈輪同軸安裝于所述傳動軸上，通過所述傳動軸帶動所述兩個升降鏈輪轉動。

優選地，所述驅動元件包括電機和減速機；所述減速機的輸入端與所述電機相連，輸出端上安裝所述主動鏈輪。

優選地，所述立柱具有凹槽形截面。

優選地，所述升降托板兩側具有彎折部，所述彎折部上對稱安裝有多個導向滾輪，所述導向滾輪嵌設于所述立柱的凹槽并在其中上升或下降。

優選地，所述裝卸裝置還包括配重機構，其安裝于所述兩條升降鏈條的另一端。

優選地，所述配重機構包括：水平連桿，其兩端分別通過連接桿與所述兩條升降鏈條的另一端固定連接；兩個配重塊，分別與所述水平連桿的兩端固定連接。

優選地，每一所述配重塊上安裝有兩個導向輪，所述導向輪貼合于所述立柱的內外壁，并沿著貼合表面豎直運動。

優選地，所述叉板的數量為大于1個且所述叉板之間的距離可調。

優選地，所述運輸定位機構包括使所述主體框架水平移動的腳輪以及可伸縮的支撐腳，所述支撐腳伸出時限制所述主體框架水平移動。

優選地，所述主體框架為L形，其包括水平底部及兩個垂直設置的所述立柱，所述水平底部位于所述叉板的水平部分的下方。

優選地，所述腳輪包括前腳輪和后腳輪，所述主體框架的水平底部的前端中設有兩個所述前腳輪，所述兩個立柱下方靠近所述水平底部后端設有兩個所述后腳輪。

優選地，所述電機由交流市電供電并根據控制信號運作。

本發明所提出的立式氧化爐爐體的裝卸裝置，通過運輸定位機構能夠實現爐體的水平運輸，通過升降鏈輪、鏈條及承載機構可以將爐體從地面托起不需要借助叉車之類的其他設備進行過渡，從而實現了集運輸與升降功能于一體，以單一裝置完成爐體所有裝卸動作。此外，該裝置借助驅動傳動機構實現省時省力，使現場安調人員徹底從繁重的體力勞動中解脫出來。

附圖說明

圖1為本發明立式氧化爐爐體的裝卸裝置的結構示意圖；

圖2為本發明立式氧化爐爐體的裝卸裝置的驅動傳動機構及傳動機構的結構示意圖；

圖3為本發明立式氧化爐爐體的裝卸裝置的運輸機構及承載機構的結構示意圖；

圖4和圖5為本發明立式氧化爐爐體的裝卸裝置的配重機構的結構示意圖；