[發明專利]一種負壓擴散爐反應腔室壓力控制系統及控制方法

有效

• 申請號: 201310753162.8
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN103710758A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 孫朋濤;桂曉波
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: C30B31/18
• 分類號: C30B31/18
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;陶金龍

1.一種負壓擴散爐反應腔室壓力控制系統，其特征在于，包括：

尾氣管，其輸入端接收所述反應腔室氣體輸出的尾氣；其中，所述尾氣的壓力小于1個大氣壓；

真空泵，其一端通過第一控制閥與所述尾氣管的輸出端相連，另一端與排酸管道輸入端相連；其中，所述第一控制閥只具有完全打開或完全關閉兩種工作狀態；

壓力控制單元，其包括：

至少一個壓力傳感器，用于檢測所述尾氣管中氣體的壓力；

判斷模塊，接收所述傳感器發送的壓力檢測結果，并與預定壓力值進行比較，得到壓力檢測結果值是否需要調整以及需要調整值的信息；

執行模塊，接收所述判斷模塊發出的信息，調整或保持所述真空泵的抽真空能力。

2.如權利要求1所述的負壓擴散爐反應腔室壓力控制系統，其特征在于，所述真空泵由帶有變頻器的泵電機驅動，所述壓力控制單元中的執行模塊通過改變所述變頻器的頻率，來改變所述泵電機的轉速。

3.如權利要求1或2所述的負壓擴散爐反應腔室壓力控制系統，其特征在于，所述真空泵為防腐蝕隔膜泵。

4.如權利要求1所述的負壓擴散爐反應腔室壓力控制系統，其特征在于，所述尾氣管的前端伸至反應腔室的爐口，其后端外側壁與所述反應腔室使用密封圈密封連接。

5.如權利要求4所述的負壓擴散爐反應腔室壓力控制系統，其特征在于，所述尾氣管伸入反應腔室部分為石英材料，外接部分為聚四氟乙烯。

6.如權利要求1所述的負壓擴散爐反應腔室壓力控制系統，其特征在于，所述尾氣管的外圍安裝有至少一個降溫裝置。

7.如權利要求1所述的負壓擴散爐反應腔室壓力控制系統，其特征在于，所述壓力傳感器為防腐蝕或充氣保護的壓力傳感器。

8.如權利要求1所述的負壓擴散爐反應腔室壓力控制系統，其特征在于，所述壓力傳感器測量壓力的方式為絕壓或壓差方式，與所述判斷模塊的通信方式為模擬量或端口通信協議方式。

9.如權利要求1所述的負壓擴散爐反應腔室壓力控制系統，其特征在于，還包括第二閥門，所述第二閥門的一端與所述第一閥門的輸入端相連，另一端與所述排酸管道相連，其中，所述第一控制閥只具有完全打開或完全關閉兩種工作狀態。

10.如權利要求9所述的負壓擴散爐反應腔室壓力控制系統，其特征在于，還包括防爆控制模塊，當檢測到反應腔室充氣達到大氣壓后，防爆控制模塊控制第一閥門關閉，第二閥門開啟。

11.如權利要求9所述的負壓擴散爐反應腔室壓力控制系統，其特征在于，還包括氛圍穩定模塊，當設備閑置時，所述反應腔室進氣口充入保護氣體，氛圍穩定模塊控制第一閥門關閉，第二閥門開啟。

12.如權利要求8所述的負壓擴散爐反應腔室壓力控制系統，其特征在于，所述的第一閥門和第二閥門為氣動閥。

13.一種采用權利要求1所述的負壓擴散爐反應腔室壓力控制系統的控制方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟S1：尾氣管接收所述反應腔室氣體輸出的尾氣；其中，所述尾氣的壓力小于1個大氣壓；

步驟S2：壓力傳感器檢測所述尾氣管中氣體的壓力；

步驟S3：判斷所述傳感器發送的壓力檢測結果，并與預定壓力值進行比較，得到壓力檢測結果值是否需要調整以及調整值的信息；

步驟S4：接收所述是否需要調整以及調整值的信息，控制所述真空泵的抽真空能力。

14.如權利要求13所述的負壓擴散爐反應腔室壓力控制方法，其特征在于，在步驟S4中，所述真空泵由帶有變頻器的泵電機驅動，所述是否需要調整以及調整值的信息是通過改變所述變頻器的頻率，實現改變所述泵電機轉速的。