[發(fā)明專利]反應腔加熱控制方法及裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310753142.0
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN104750140A
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發(fā)明（設計）人: 張孟湜
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: G05D23/30
• 分類號: G05D23/30
• 代理公司: 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 陳振

1.一種反應腔加熱控制方法，其特征在于，包括以下步驟：

在反應腔底部設置至少兩個溫度傳感器，對反應腔的溫度進行檢測；

根據(jù)至少兩個所述溫度傳感器檢測到的溫度判斷反應腔上設置的加熱器斷連；

當作為反應腔溫度控制點的溫度傳感器發(fā)生故障時，將未作為反應腔溫度控制點的另一溫度傳感器切換作為新的反應腔溫度控制點，對反應腔溫度進行控制。

2.根據(jù)權利要求1所述的反應腔加熱控制方法，其特征在于，當作為反應腔溫度控制點的溫度傳感器發(fā)生故障時，將未作為反應腔溫度控制點的另一溫度傳感器切換作為新的反應腔溫度控制點，對反應腔溫度進行控制，還包括如下步驟：

以原反應腔溫度控制點和新的反應腔溫度控制點的溫差的平均值對新的反應腔溫度控制點的溫度進行差值補償。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的反應腔加熱控制方法，其特征在于，所述溫度傳感器為一個主溫度傳感器和一個輔助溫度傳感器；

所述在反應腔底部設置至少兩個溫度傳感器，對反應腔的溫度進行檢測，包括如下步驟：

將輔助溫度傳感器設置在所述反應腔底部的中心位置；

將4個所述加熱器分別設置在所述反應腔底部的四角位置；

將主溫度傳感器設置在所述反應腔底部的一角的加熱器側(cè)；

控制所述4個加熱器對反應腔進行加熱；

所述輔助溫度傳感器和主溫度傳感器分別對所述反應腔的相應檢測點的溫度進行檢測。

4.根據(jù)權利要求3所述的反應腔加熱控制方法，其特征在于：

所述根據(jù)至少兩個所述溫度傳感器檢測到的溫度判斷反應腔上設置的加熱器斷連，包括如下步驟：

將所述主溫度傳感器和輔助溫度傳感器檢測到反應腔的溫度傳送至溫控器；

所述溫控器計算得到主溫度傳感器和輔助溫度傳感器的溫差；

溫控器根據(jù)所述的溫差與預設溫差相比較判斷所述加熱器斷連并進行處理。

5.根據(jù)權利要求4所述的反應腔加熱控制方法，其特征在于，

所述溫控器根據(jù)所述的溫差與預設溫差相比較判斷所述加熱器斷連并進行處理，包括以下步驟：

當主溫度傳感器的溫度大于輔助溫度傳感器的溫度，并且兩者的溫差大于預設溫差的2倍時，則判斷出所述主溫度傳感器側(cè)的加熱器未發(fā)生故障，其他三個加熱器中的至少一個加熱器存在故障，則發(fā)出所述其他加熱器斷開的第一故障報警信號；

當主溫度傳感器的溫度小于輔助溫度傳感器的溫度，則判斷出位于所述主溫度傳感器側(cè)的加熱器發(fā)生故障，發(fā)出所述主溫度傳感器側(cè)加熱器斷開的第二故障報警信號；

否則，返回重新檢測。

6.根據(jù)權利要求3所述的反應腔加熱控制方法，其特征在于：

所述當作為反應腔溫度控制點的溫度傳感器發(fā)生故障時，將未作為反應腔溫度控制點的另一溫度傳感器切換作為新的反應腔溫度控制點，對反應腔溫度進行控制，包括如下步驟：

當主溫度傳感器或者輔助溫度傳感器作為反應腔溫度控制點時，溫控器根據(jù)接收到的主溫度傳感器或者輔助溫度傳感器的溫度值，判斷所述主溫度傳感器或者輔助溫度傳感器是否存在故障；

當判斷作為反應腔溫度控制點的主溫度傳感器或者輔助溫度傳感器存在故障時，則將反應腔溫度控制點切換到另一個未作為反應腔溫度控制點的輔助溫度傳感器，替代存在故障的反應腔溫度控制點，作為新的反應腔溫度控制點，對反應腔溫度進行控制；

發(fā)出第三故障報警信號。

7.根據(jù)權利要求6所述的反應腔加熱控制方法，其特征在于：

所述溫控器根據(jù)接收到的主溫度傳感器或者輔助溫度傳感器的溫度值，判斷所述主溫度傳感器或者輔助溫度傳感器是否存在故障，包括如下步驟：

當未接收到作為反應腔溫度控制點的主溫度傳感器或者輔助溫度傳感器的溫度值，或者接收到的溫度值為0時，判斷所述作為反應腔溫度控制點的主溫度傳感器或者輔助溫度傳感器存在故障。

8.根據(jù)權利要求3所述的反應腔加熱控制方法，其特征在于：

所述主溫度傳感器為主熱電偶或者主熱電阻；

所述輔助溫度傳感器為輔助熱電偶或者輔助熱電阻。