[發(fā)明專利]反應(yīng)腔加熱控制方法及裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310753142.0
• 申請(qǐng)日: 2013-12-31
• 公開（公告）號(hào): CN104750140A
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張孟湜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G05D23/30
• 分類號(hào): G05D23/30
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 陳振

1.一種反應(yīng)腔加熱控制方法，其特征在于，包括以下步驟：

在反應(yīng)腔底部設(shè)置至少兩個(gè)溫度傳感器，對(duì)反應(yīng)腔的溫度進(jìn)行檢測(cè)；

根據(jù)至少兩個(gè)所述溫度傳感器檢測(cè)到的溫度判斷反應(yīng)腔上設(shè)置的加熱器斷連；

當(dāng)作為反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)的溫度傳感器發(fā)生故障時(shí)，將未作為反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)的另一溫度傳感器切換作為新的反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)，對(duì)反應(yīng)腔溫度進(jìn)行控制。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應(yīng)腔加熱控制方法，其特征在于，當(dāng)作為反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)的溫度傳感器發(fā)生故障時(shí)，將未作為反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)的另一溫度傳感器切換作為新的反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)，對(duì)反應(yīng)腔溫度進(jìn)行控制，還包括如下步驟：

以原反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)和新的反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)的溫差的平均值對(duì)新的反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)的溫度進(jìn)行差值補(bǔ)償。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的反應(yīng)腔加熱控制方法，其特征在于，所述溫度傳感器為一個(gè)主溫度傳感器和一個(gè)輔助溫度傳感器；

所述在反應(yīng)腔底部設(shè)置至少兩個(gè)溫度傳感器，對(duì)反應(yīng)腔的溫度進(jìn)行檢測(cè)，包括如下步驟：

將輔助溫度傳感器設(shè)置在所述反應(yīng)腔底部的中心位置；

將4個(gè)所述加熱器分別設(shè)置在所述反應(yīng)腔底部的四角位置；

將主溫度傳感器設(shè)置在所述反應(yīng)腔底部的一角的加熱器側(cè)；

控制所述4個(gè)加熱器對(duì)反應(yīng)腔進(jìn)行加熱；

所述輔助溫度傳感器和主溫度傳感器分別對(duì)所述反應(yīng)腔的相應(yīng)檢測(cè)點(diǎn)的溫度進(jìn)行檢測(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的反應(yīng)腔加熱控制方法，其特征在于：

所述根據(jù)至少兩個(gè)所述溫度傳感器檢測(cè)到的溫度判斷反應(yīng)腔上設(shè)置的加熱器斷連，包括如下步驟：

將所述主溫度傳感器和輔助溫度傳感器檢測(cè)到反應(yīng)腔的溫度傳送至溫控器；

所述溫控器計(jì)算得到主溫度傳感器和輔助溫度傳感器的溫差；

溫控器根據(jù)所述的溫差與預(yù)設(shè)溫差相比較判斷所述加熱器斷連并進(jìn)行處理。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的反應(yīng)腔加熱控制方法，其特征在于，

所述溫控器根據(jù)所述的溫差與預(yù)設(shè)溫差相比較判斷所述加熱器斷連并進(jìn)行處理，包括以下步驟：

當(dāng)主溫度傳感器的溫度大于輔助溫度傳感器的溫度，并且兩者的溫差大于預(yù)設(shè)溫差的2倍時(shí)，則判斷出所述主溫度傳感器側(cè)的加熱器未發(fā)生故障，其他三個(gè)加熱器中的至少一個(gè)加熱器存在故障，則發(fā)出所述其他加熱器斷開的第一故障報(bào)警信號(hào)；

當(dāng)主溫度傳感器的溫度小于輔助溫度傳感器的溫度，則判斷出位于所述主溫度傳感器側(cè)的加熱器發(fā)生故障，發(fā)出所述主溫度傳感器側(cè)加熱器斷開的第二故障報(bào)警信號(hào)；

否則，返回重新檢測(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的反應(yīng)腔加熱控制方法，其特征在于：

所述當(dāng)作為反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)的溫度傳感器發(fā)生故障時(shí)，將未作為反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)的另一溫度傳感器切換作為新的反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)，對(duì)反應(yīng)腔溫度進(jìn)行控制，包括如下步驟：

當(dāng)主溫度傳感器或者輔助溫度傳感器作為反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)時(shí)，溫控器根據(jù)接收到的主溫度傳感器或者輔助溫度傳感器的溫度值，判斷所述主溫度傳感器或者輔助溫度傳感器是否存在故障；

當(dāng)判斷作為反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)的主溫度傳感器或者輔助溫度傳感器存在故障時(shí)，則將反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)切換到另一個(gè)未作為反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)的輔助溫度傳感器，替代存在故障的反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)，作為新的反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)，對(duì)反應(yīng)腔溫度進(jìn)行控制；

發(fā)出第三故障報(bào)警信號(hào)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的反應(yīng)腔加熱控制方法，其特征在于：

所述溫控器根據(jù)接收到的主溫度傳感器或者輔助溫度傳感器的溫度值，判斷所述主溫度傳感器或者輔助溫度傳感器是否存在故障，包括如下步驟：

當(dāng)未接收到作為反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)的主溫度傳感器或者輔助溫度傳感器的溫度值，或者接收到的溫度值為0時(shí)，判斷所述作為反應(yīng)腔溫度控制點(diǎn)的主溫度傳感器或者輔助溫度傳感器存在故障。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的反應(yīng)腔加熱控制方法，其特征在于：

所述主溫度傳感器為主熱電偶或者主熱電阻；

所述輔助溫度傳感器為輔助熱電偶或者輔助熱電阻。