[發明專利]一種離子源電參數質量歧視自動校正裝置與方法

有效

• 申請號: 201310752246.X
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN103700565A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 李海軍;鄒盛強;李斌;楊松;閻瑞
• 申請（專利權）人: 四川紅華實業有限公司
• 主分類號: H01J49/16
• 分類號: H01J49/16;G01N27/64
• 代理公司: 核工業專利中心 11007
• 代理人: 羅立冬

1.一種離子源電參數質量歧視自動校正裝置，其特征在于：包括多個電位器組，每組電位器中由多個獨立相同的電位器組成，各電位器并聯，兩端接在電極在分壓器電路板對應的電壓輸出端上，各電位器滑動端通過相應高壓繼電器接在電極上，高壓繼電器的接通受質量數判斷模塊控制，工作時，每組電位器只有一個能通過高壓繼電器接通輸出。

2.根據權利要求1所述的一種離子源電參數質量歧視自動校正裝置，其特征在于：所述每組電位器中有6個獨立電位器，分別對應不同的質量數。

3.根據權利要求1所述的一種離子源電參數質量歧視自動校正裝置，其特征在于：所述電位器組共三個，分別對應引出電極、第一聚焦電極和第二聚焦電極。

4.一種離子源電參數質量歧視自動校正方法，包括如下步驟：

步驟S1：在離子源引出電極的分壓器上并聯6個電位器，分別為電位器W2-Y，電位器W3-Y，電位器W4-Y，電位器W5-Y，電位器W6-Y，電位器WM-Y；

步驟S2：在離子源第一聚焦電極的分壓器上并聯6個電位器，分別為電位器W2-J1，電位器W3-J1，電位器W4-J1，電位器W5-J1，電位器W6-J1，電位器WM-J1；

步驟S3：在離子源第二聚焦電極的分壓器上并聯6個電位器，分別為電位器W2-J2，電位器W3-J2，電位器W4-J2，電位器W5-J2，電位器W6-J1，電位器WM-J2；

步驟S4：各電位器的滑動端通過一個高壓繼電器與電極相連，電位器W2-Y、電位器W3-Y、電位器W4-Y、電位器W5-Y、電位器W6-Y、電位器WM-Y分別通過高壓繼電器KM2-Y、高壓繼電器KM3-Y、高壓繼電器KM4-Y、高壓繼電器KM5-Y、高壓繼電器KM6-Y、高壓繼電器KM-Y與引出電極相連；

電位器W2-J1、電位器W3-J1、電位器W4-J1、電位器W5-J1、電位器W6-J1、電位器WM-J1分別通過高壓繼電器KM2-J1、高壓繼電器KM3-J1、高壓繼電器KM4-J1、高壓繼電器KM5-J1、高壓繼電器KM6-J1、高壓繼電器KM-J1與第一聚焦電極相連；

電位器W2-J2、電位器W3-J2、電位器W4-J2、電位器W5-J2、電位器W6-J2、電位器WM-J2分別通過高壓繼電器KM2-J2、高壓繼電器KM3-J2、高壓繼電器KM4-J2、高壓繼電器KM5-J2、高壓繼電器KM6-J2、高壓繼電器KM-J2與第二聚焦電極相連；

步驟S5：當質量數小于2.5時，質量數判斷模塊控制高壓繼電器KM2-Y、KM2-J1、KM2-J2接通，對應的電位器W2-Y、W2-J1、W2-J2輸出相應電位到引出電極、第一聚焦電極和第二聚焦電極；

當質量數大于2.5但小于3.5時，質量數判斷模塊控制高壓繼電器KM3-Y、KM3-J1、KM3-J2接通，對應的電位器W3-Y、W3-J1、W3-J2輸出相應電位到引出電極、第一聚焦電極和第二聚焦電極；

當質量數大于3.5但小于4.5時，質量數判斷模塊控制高壓繼電器KM4-Y、KM4-J1、KM4-J2接通，對應的電位器W4-Y、W4-J1、W4-J2輸出相應電位到引出電極、第一聚焦電極和第二聚焦電極；

當質量數大于4.5但小于5.5時，質量數判斷模塊控制高壓繼電器KM5-Y、KM5-J1、KM5-J2接通，對應的電位器W5-Y、W5-J1、W5-J2輸出相應電位到引出電極、第一聚焦電極和第二聚焦電極；

當質量數大于5.5但小于6.5時，質量數判斷模塊控制高壓繼電器KM6-Y、KM6-J1、KM6-J2接通，對應的電位器W6-Y、W6-J1、W6-J2輸出相應電位到引出電極、第一聚焦電極和第二聚焦電極；

當質量數大于6.5時，質量數判斷模塊控制高壓繼電器KM-Y、KM-J1、KM-J2接通，對應的電位器WM-Y、WM-J1、WM-J2輸出相應電位到引出電極、第一聚焦電極和第二聚焦電極。

5.根據權利要求4所述的一種離子源電參數質量歧視自動校正方法，其特征在于：在所述步驟S1前，還包括調節各電位器的滑片，使離子峰的峰形達到最佳、峰強達到最大的步驟。