[發明專利]一種新型硅片研磨液的攪拌裝置無效
| 申請號： | 201310752151.8 | 申請日： | 2013-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN103706284A | 公開（公告）日： | 2014-04-09 |
| 發明（設計）人： | 聶金根 | 申請（專利權）人： | 鎮江市港南電子有限公司 |
| 主分類號： | B01F15/00 | 分類號： | B01F15/00 |
| 代理公司： | 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 新型 硅片 研磨 攪拌 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種新型硅片研磨液的攪拌裝置包括攪拌葉、攪拌軸；所述攪拌葉垂直固定在攪拌軸的下端；其中所述攪拌葉包括攪拌葉基座3和攪拌葉片，所述攪拌基座為等腰梯形，所述攪拌葉片為半圓形；所述攪拌葉片設有若干個凸起，凸起垂直固定在攪拌葉片上，凸起呈三棱柱，三棱柱底面為等邊三角形。
2.如權利要求1所述的一種新型硅片研磨液的攪拌裝置其特征在于所述每個相鄰攪拌葉之間的距離為4mm，所述每個攪拌葉之間的夾角為60°。
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