[發(fā)明專利]有機(jī)電子器件制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310750118.1
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN103915578B
• 公開（公告）日: 2019-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: J·愛薩克;E·伯頓
• 申請（專利權(quán)）人: 劍橋顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;B41M5/00
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 秦晨

提供一種有機(jī)電子器件的制造方法，該方法包括：設(shè)置具有至少兩組的材料沉積區(qū)域的基板，第一組區(qū)域用于所述器件的第一組元件，第二組區(qū)域用于所述器件的第二組元件，其中，所述第一組和第二組區(qū)域具有不同的沉積材料的各第一和第二目標(biāo)厚度；設(shè)置沉積于所述第一組和第二組區(qū)域上的材料的至少一種溶液；和將所述材料溶液噴墨印刷于所述第一和第二組材料沉積區(qū)域上，其中，所述噴墨印刷包含：通過使用包含多個噴嘴的打印頭沉積所述至少一種材料溶液，所述噴嘴的第一子集用于沉積到所述第一組區(qū)域上，所述噴嘴的第二子集用于沉積到所述第二組區(qū)域上；和為了沉積材料的所述不同的各第一和第二目標(biāo)厚度，用第一驅(qū)動波形驅(qū)動所述第一組噴嘴并用第二不同驅(qū)動波形驅(qū)動所述第二組噴嘴。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于制造有機(jī)電子器件的技術(shù)，特別地，涉及諸如聚合物OLED（有機(jī)發(fā)光二極管）顯示器的OLED器件。

背景技術(shù)

圖1a表示典型的OLED器件10的斷面圖。它包括承載一般為ITO（氧化銦錫）的透明導(dǎo)電氧化物層14的基板12。該透明導(dǎo)電氧化物層14可被構(gòu)圖，一般具有約40nm的厚度。在其上面沉積一般包含諸如PSS:PEDOT（聚苯乙烯-磺酸酯摻雜的聚乙烯-二氧噻吩）的導(dǎo)電聚合物的空穴注入層（HIL）16。這有助于匹配ITO陽極和發(fā)光聚合物的空穴能級（也可有助于使ITO平坦化），其厚度一般為約30nm，但可能達(dá)到約150nm。一般在有機(jī)光伏器件中存在類似的層，以有利于提取空穴。此外，商業(yè)空穴注入材料是可從Plextronics Inc得到的。

在本例子中，空穴注入層之后是中間聚合物層即中間層（IL）18－也稱為空穴傳輸層（HTL）。它由允許有效地傳輸空穴的空穴傳輸材料制成；它一般具有范圍為20nm～60nm的厚度并且沉積于空穴注入層上，并且一般交聯(lián)。可制成中間層的一種示例性材料是聚芴-三芳胺或類似材料的共聚物（Bradley等在Adv.Mater.Vol11,p241-246（1999）中以及在Li和Meng的Chapter2中描述了其它適當(dāng)材料的例子，見下）。

在其之上沉積發(fā)光聚合物（LEP）20的一個或更多個層以形成LEP層或疊層；發(fā)光聚合物的典型例子是PPV（聚對苯撐乙烯）。例如包含氟化鈉（NaF）的層和之后的鋁層的陰極22沉積于LEP疊層上。任選地，可在LEP疊層20與陰極22之間沉積附加的電子傳輸層。

圖1a所示的器件是底部發(fā)光器件，即，在LEP疊層中產(chǎn)生的光經(jīng)由透明ITO陽極層通過基板耦合到器件外面。還能夠通過使用例如厚度小于約100nm的薄的陰極層制造頂部發(fā)光器件。雖然圖1的結(jié)構(gòu)表示LED疊層，但也可對于小分子（和樹枝狀聚合物）器件使用相同的基本結(jié)構(gòu)。

本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解，存在有機(jī)電子器件制造處理的許多變體，在其背景下，可使用我們已描述的技術(shù)。例如，ITO層可被省略而代以用作陽極層的空穴注入層16。另外，或者，作為替代方案，可通過下層的金屬網(wǎng)（可任選地，通過使用細(xì)網(wǎng)線和/或薄金屬而透明）支持空穴注入層16的導(dǎo)電性。例如，在邊緣具有大面積的覆蓋和連接的OLED照明瓦中，可以使用這種方法。任選地，可以使用諸如PET（聚對苯二甲酸乙二醇酯）或聚碳酸酯的柔性基板。

對于其它的分子有機(jī)二極管，例如，對于有機(jī)光伏器件，可以使用類似的基本結(jié)構(gòu)。

圖1b表示沉積活性顏色層中的一個之后的示例性三色活性矩陣像素化OLED顯示器200的一部分的頂視圖。該圖表示限定顯示器的像素的堤形物（bank）112和阱（well）的陣列。在顏色顯示器中，不同的有色（子）像素可分別包含綠色、紅色和藍(lán)色發(fā)光聚合物層。