[發明專利]一種高精度靶材測量系統及方法

在審

• 申請號: 201310747805.8
• 申請日: 2013-12-31
• 公開（公告）號: CN104457564A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發明（設計）人: 馬棟梁
• 申請（專利權）人: 蘇州矩陣光電有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 張建綱

1.一種高精度靶材測量系統，包括：

檢測平臺，用于放置靶材；

光學檢測單元，設置在所述檢測平臺上方，可在三維范圍內運動，用于采集所述檢測平臺上放置的靶材圖像;

數據收集處理單元，與所述光學檢測單元、檢測平臺分別連接，采集樣品檢測參數，并對其進行相應的計算、處理和發送；

控制單元，與光學檢測單元、檢測平臺分別和數據收集處理單元分別連接，接收所述數據收集處理單元處理后的信息并對其他單元進行控制；

其特征在于：

所述檢測平臺中間設置有一中空腔，所述中空腔上設置有可拆卸的活動板，所述活動板可將所述中空腔完全覆蓋，所述中空腔內部設置至少一組限位組件，所述限位組件固定靶材并可帶動所述靶材旋轉，所述限位組件連接驅轉裝置并由其驅動；

所述光學檢測單元包括鏡頭和光柵投影裝置，所述光柵投影裝置對靶材進行投影掃描，所述鏡頭采集所述光柵投影裝置投射的光柵投影信息，并發送給所述數據收集處理單元。

2.據權利要求1所述的檢測平臺，其特征在于，一組所述限位組件包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件與所述驅轉裝置聯動，所述驅轉裝置設置至少一個，所述驅轉裝置連接有轉軸，所述轉軸穿過所述檢測平臺伸入所述第一限位件的下側；所述轉軸和所述第一限位件上分別設置有齒輪，所述轉軸上的齒輪與所述第一限位件上的齒輪相互齒合，所述驅轉裝置通過所述轉軸與所述第一限位件聯動。

3.根據權利要求1或2所述的檢測平臺，其特征在于，一組所述限位組件包括第一限位件和第二限位件，所述第一限位件與所述驅轉裝置聯動，所述驅動裝置設置一個，所述驅轉裝置連接有轉軸，所述轉軸穿過所述檢測平臺伸入所述第一限位件的水平一側，所述轉軸和所述第一限位件上分別設置有齒輪，所述轉軸通過傳動帶與多個所述第一限位件聯動；根據權利要求1-3任一項所述的檢測平臺，其特征在于，所述第一限位件和第二限位件分別包括兩個平行設置的限位桿，所述限位桿上設置有增加摩擦的墊圈，所述第一限位件的兩個所述限位桿之間距離小于靶材寬度，所述第二限位件的兩個所述限位桿之間距離小于靶材寬度。

4.根據權利要求1-4任一項所述的測量系統，其特征在于，在所述檢測平臺的底部設置有底座，所述檢測平臺與所述底座為可拆卸的連接；在所述底座的兩側分別設置有Y軸向導軌，兩個所述Y軸向導軌分別與一個龍門架的兩個底端連接，所述龍門架可在所述Y軸向導軌上沿Y軸運動，所述龍門架的橫梁上還設置有X軸向導軌；根據權利要求1-5任一項所述的測量系統，其特征在于，所述光學檢測單元連接有X軸移動機構，所述X軸移動機構與X軸向導軌連接，可沿X軸運動；所述X軸移動機構的一側還設置有Z軸向導軌。

5.根據權利要求1-6任一項所述的測量系統，其特征在于，

所述鏡頭設置在轉動部件上，所述轉動部件至少設置兩個，所述轉動部件一端與所述安裝部件轉動連接，所述鏡頭設置在所述轉動部件的另一端；

所述安裝部件下側中間連接所述光柵投影裝置，所述安裝部件上側中間連接有搖擺部件，所述搖擺部件的一側與Z軸移動機構的一側通過連動軸連接，所述搖擺部件可沿軸搖擺；所述Z軸移動機構設置在Z軸向導軌上，可帶動其他部件沿Z軸運動；根據權利要求1-7任一項所述的測量系統，其特征在于，所述Z軸移動機構通過從動螺桿沿Z軸運動，所述從動螺桿從上端伸入Z軸移動機構，所述從動螺桿上的外螺紋與所述Z軸移動機構內的內螺紋吻合，所述從動螺桿上端通過齒輪與主動螺桿齒合，所述主動螺桿與設置在X軸移動機構上的螺桿驅動機構連接；根據權利要求1-8任一項所述的測量系統，其特征在于，所述安裝部件與所述搖擺部件通過垂直轉軸連接，所述垂直轉軸還連接有第一驅動裝置，所述轉動部件通過旋轉軸與安裝部件連接，所述旋轉軸連接有第二驅動裝置，所述連動軸連接有第三驅動裝置。

6.根據權利要求1-9任一項所述的測量系統，其特征在于，所述檢測平臺下方設置有多個抵觸機構，所述抵觸機構包括氣缸、電磁閥和傳感器，所述抵觸機構用于保持檢測平臺的水平；根據權利要求1-10任一項所述的測量系統，其特征在于，所述X軸向導軌和所述Y軸向導軌為磁性導軌，所述Z軸向導軌為雙梯形滑軌；根據權利要求1-11任一項所述的測量系統，其特征在于，所述光學檢測單元和所述龍門架上設置有光柵尺，所述X、Y、Z軸向導軌兩端都設有限位傳感器。