[發明專利]新型硅片清洗液有效
| 申請號： | 201310747719.7 | 申請日： | 2013-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN103695190A | 公開（公告）日： | 2014-04-02 |
| 發明（設計）人： | 聶金根 | 申請（專利權）人： | 鎮江市港南電子有限公司 |
| 主分類號： | C11D1/66 | 分類號： | C11D1/66;C11D3/60;C11D3/30;C11D3/20;C11D3/04;C11D3/382 |
| 代理公司： | 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 新型 硅片 清洗 | ||
【權利要求書】：
1.新型硅片清洗液，其特征在于，由表面活性劑20-50份、三羥乙基胺7-12份、乙醇7-13份、丙二醇3-9份、氟化銨7-10份、柑橘油3-6份、水?20-33份組成，以重量份數計。
2.如權利要求1所述的新型硅片清洗液，其特征在于，由表面活性劑27份、三羥乙基胺8份、乙醇11份、丙二醇7份、氟化銨9份、柑橘油2.5份、水?31份組成。
3.如權利要求1所述的新型硅片清洗液，其特征在于，所述表面活性劑為非離子表面活性劑。
4.如權利要求1所述的新型硅片清洗液，其特征在于，所述表面活性劑為單硬脂酸甘油酯。
5.如權利要求1所述的新型硅片清洗液，其特征在于，所述水為去離子水。
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