[發(fā)明專利]一種白光干涉垂直掃描開環(huán)控制的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310746418.2 | 申請日： | 2013-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN103697832A | 公開（公告）日： | 2014-04-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 夏勇 | 申請（專利權(quán)）人： | 鎮(zhèn)江超納儀器有限公司（中外合資） |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 張弛 |
| 地址： | 212000 江蘇省鎮(zhèn)江市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 白光 干涉 垂直 掃描 開環(huán) 控制 方法 | ||
1.一種白光干涉垂直掃描開環(huán)控制的方法，其特征在于：
提供適用于光學(xué)掃描干涉的干涉輪廓儀，來提供光學(xué)掃描干涉系統(tǒng)的光程差及使用開環(huán)控制系統(tǒng)驅(qū)動裝置的方法和技術(shù)來實現(xiàn)干涉；
白光垂直掃描干涉儀進(jìn)行表面高度差測量通過下面的步驟來實現(xiàn)：
（1）、通過光程差驅(qū)動裝置，獲取在不同的光程差時對應(yīng)的有序干涉圖譜，
同時同步記錄集成到光程差驅(qū)動裝置的線性或者旋轉(zhuǎn)編碼器的輸出信號或編碼值作為對應(yīng)掃描時間或高度
P(tm)=Pm?for?m=1,2,Κ,M；
（2）、將Pm數(shù)據(jù)擬合成一條平滑的曲線P(t)；
（3）、由下面的一系列干涉圖譜強度來計算干涉圖譜的調(diào)制振幅bn，
（4）、從調(diào)制振幅bn隨垂直掃描時間分布的數(shù)據(jù)中求取其最大值以及對應(yīng)的垂直掃描時間或位置ta。請注意對應(yīng)的垂直掃描時間或位置ta能夠直接由上面的系列干涉圖譜強度來計算，不需要計算相應(yīng)的調(diào)制振幅bn值；
（5）、由上述的步驟（2）中的曲線P(t)來找到對應(yīng)的P(ta)；
（6）、將線性或者旋轉(zhuǎn)編碼器的輸出信號或編碼值P(ta)關(guān)聯(lián)到被測表面高度。
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