[發明專利]ITO靶材與銅背板的綁定方法

有效

• 申請號: 201310744860.1
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN103737140A
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發明（設計）人: 陽威;張迅;易偉華
• 申請（專利權）人: 江西沃格光電股份有限公司
• 主分類號: B23K1/20
• 分類號: B23K1/20;B23K1/00;B23K3/04;B23K3/08
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 吳平

1.一種ITO靶材與銅背板的綁定方法，其特征在于，包括如下步驟：

將銅背板固定于加熱臺上，將ITO靶材放置于所述銅背板上；

對所述銅背板進行加熱，通過釬焊將所述ITO靶材貼合在所述銅背板上；及

在所述ITO靶材的遠離所述銅背板的表面上放置配重塊，待所述ITO靶材冷卻后取下所述配重塊。

2.根據權利要求1所述的ITO靶材與銅背板的綁定方法，其特征在于，所述將銅背板固定于加熱臺上的步驟具體為：在所述加熱臺上鉆孔，并在壓塊的一端鉆孔，將所述壓塊未鉆孔的一端壓住所述銅背板，鉆孔的一端通過緊固件鎖緊，使所述銅背板固定于所述加熱臺上。

3.根據權利要求2所述的ITO靶材與銅背板的綁定方法，其特征在于，所述壓塊為金屬壓塊。

4.根據權利要求3所述的ITO靶材與銅背板的綁定方法，其特征在于，所述金屬壓塊為銅壓塊、黃銅壓塊或鋁壓塊。

5.根據權利要求1所述的ITO靶材與銅背板的綁定方法，其特征在于，所述對所述銅背板進行加熱，通過釬焊將所述ITO靶材貼合在所述銅背板上的步驟是將所述銅背板進行加熱至170℃～180℃，并將所述銅背板維持在170℃～180℃，通過釬焊粘結所述銅背板和所述ITO靶材。

6.根據權利要求1或5所述的ITO靶材與銅背板的綁定方法，其特征在于，所述對所述銅背板進行加熱的步驟具體為：將所述銅背板從室溫加熱至50℃，在50℃恒溫5分鐘；再從50℃加熱至80℃，在80℃恒溫5分鐘；再從80℃加熱至110℃，在110℃恒溫5分鐘；接著從110℃加熱至140℃，在140℃恒溫5分鐘；進一步從140℃加熱至170℃～180℃，并維持所述銅背板的溫度為170℃～180℃。

7.根據權利要求6所述的ITO靶材與銅背板的綁定方法，其特征在于，所述對所述銅背板進行加熱的步驟具體為：以5℃/min～7℃/min的升溫速率將所述銅背板從室溫加熱至50℃，在50℃恒溫5分鐘；再以5℃/min～7℃/min的升溫速率從50℃加熱至80℃，在80℃恒溫5分鐘；再以5℃/min～7℃/min的升溫速率從80℃加熱至110℃，在110℃恒溫5分鐘；接著以5℃/min～7℃/min的升溫速率從110℃加熱至140℃，在140℃恒溫5分鐘；進一步以5℃/min～7℃/min的升溫速率從140℃加熱至170℃～180℃，并維持所述銅背板的溫度為170℃～180℃。

8.根據權利要求1所述的ITO靶材與銅背板的綁定方法，其特征在于，所述配重塊的與所述ITO靶材的貼合面的面積是所述ITO靶材遠離所述銅背板的表面的面積的1/3～1/2。

9.根據權利要求1所述的ITO靶材與銅背板的綁定方法，其特征在于，所述ITO靶材的長度為200毫米，寬度為120毫米，厚度為6毫米；所述配重塊的質量為2千克～2.2千克。

10.根據權利要求1或9所述的ITO靶材與銅背板的綁定方法，其特征在于，所述配重塊為金屬配重塊。