[發(fā)明專利]大口徑KDP晶體元件表面微缺陷快速搜尋與微銑削修復(fù)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310744691.1
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN103692561A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳明君;肖勇;蔣琳曦;郭燕秋;廖然;梁迎春
• 申請（專利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D7/04
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務(wù)所 23109
• 代理人: 高媛

1.一種大口徑KDP晶體元件表面微缺陷快速搜尋與微銑削修復(fù)裝置，其特征在于：它包括晶體移動平臺裝配體（101）、整體平臺裝配總成（102）、底部平臺裝配總成（103）、晶體顯微鏡移動平臺（104）、底部大平板（116）、第一拖鏈（117）、第二拖鏈（118）、導(dǎo)軌拖鏈連接塊（119）、第二拖鏈限位塊（120）及晶體顯微鏡移動平臺支架（121）；所述底部大平板（116）水平設(shè)置，底部大平板（116）上固定放置有整體平臺裝配總成（102），底部平臺裝配總成（103）固定在整體平臺裝配總成（102）上，晶體移動平臺裝配體（101）固定在整體平臺裝配總成（102）上表面，晶體顯微鏡移動平臺（104）的下端固定在整體平臺裝配總成（102）的上端面；所述第一拖鏈（117）和第二拖鏈（118）各通過一個導(dǎo)軌拖鏈連接塊（119）與晶體移動平臺裝配體（101）連接，第一拖鏈（117）和第二拖鏈（118）水平垂直設(shè)置，第二拖鏈限位塊（120）固定在晶體移動平臺裝配體（101）上且位于第二拖鏈（118）的外側(cè)面處，晶體顯微鏡移動平臺支架（121）的下部與整體平臺裝配總成（102）的上端面連接，晶體顯微鏡移動平臺（104）安裝于晶體顯微鏡移動平臺支架（121）上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述大口徑KDP晶體元件表面微缺陷快速搜尋與微銑削修復(fù)裝置，其特征在于：所述晶體移動平臺裝配體（101）包括氣浮框架（30）、X軸直線單元（31）、步進電機（32）、X軸導(dǎo)軌連接板（10）、Y軸導(dǎo)軌托盤（33）、Y軸直線單元（12）、Y軸導(dǎo)軌連接板（14）及兩組柔性鉸鏈（3）；所述X軸直線單元（31）固定在精密平臺上表面，所述X軸導(dǎo)軌連接板（10）固定在X軸直線單元（31）的運動部件上；步進電機（32）驅(qū)動X軸直線單元（31）的運動部件做直線運動，所述Y軸導(dǎo)軌連接板（14）固定在Y軸直線單元（12）的運動部件上；Y軸直線單元（12）固定在Y軸導(dǎo)軌托盤（33）中，Y軸導(dǎo)軌托盤（33）一端面與X軸導(dǎo)軌連接板（10）的一側(cè)面定位并連接，Y軸導(dǎo)軌托盤（33）另一端為氣浮端，Y軸直線單元（12）的運動軸線與X軸直線單元（31）的運動軸線在X、Y平面的投影垂直；所述氣浮框架（30）設(shè)置在精密平臺上表面，且氣浮框架（30）的一側(cè)面通過兩組柔性鉸鏈（3）與Y軸導(dǎo)軌連接板（14）的一側(cè)面連接，氣浮框架（30）的X向?qū)ΨQ面與Y軸直線單元（12）的運動軸線垂直。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述大口徑KDP晶體元件表面微缺陷快速搜尋與微銑削修復(fù)裝置，其特征在于：所述氣浮框架（30）包括晶體框（1）、兩個壓緊塊（6）、兩個鎖緊塊（9）、兩個定位塊（15）、五個連接耳（20）、三個球鉸螺柱一（13）及三個氣浮墊一（11）；所述晶體框（1）為水平設(shè)置的矩形框，兩組柔性鉸鏈（3）與晶體框（1）的同一任意外側(cè)面固接，晶體框（1）的其余三個外側(cè)面上固定有五個連接耳（20），晶體框（1）的其中兩個相對內(nèi)側(cè)面各固定有一個定位塊（15），兩個定位塊（15）上分別設(shè)有一定位面（15-1），兩個定位面（15-1）設(shè)置在同一豎直面內(nèi)，大口徑光學(xué)元件（40）整體放置在晶體框（1）內(nèi)部，并通過所述兩個定位塊（15）的兩個定位面（15-1）定位；晶體框（1）內(nèi)與每個定位塊（15）的相同側(cè)設(shè)置有一個鎖緊塊（9），兩個鎖緊塊（9）與晶體框（1）固接，兩個鎖緊塊（9）相對設(shè)置，鎖緊塊（9）內(nèi)與所述定位面（15-1）相垂直方向設(shè)有螺孔一，定位螺釘一旋入鎖緊塊（9）的螺孔一內(nèi)，大口徑光學(xué)元件（40）預(yù)夾緊固定于兩個定位螺釘一及兩個定位塊（15）之間；晶體框（1）內(nèi)位于每個定位塊（15）的同側(cè)設(shè)置有一個壓緊塊（6），壓緊塊（6）與晶體框（1）固接，每個壓緊塊（6）上沿豎向設(shè)有螺孔二，定位螺釘二旋入螺紋孔二內(nèi)并抵靠在晶體框（1）上，大口徑光學(xué)元件（40）通過壓緊塊（6）豎向壓緊固定；三個球鉸螺柱一（13）與五個連接耳（20）中的任意三個連接耳（20）固接，每個球鉸螺柱一（13）的球端與相對應(yīng)的氣浮墊一（11）上端面接觸；所述Y軸導(dǎo)軌托盤（33）所述另一端的上端設(shè)有沿Y軸導(dǎo)軌托盤（33）長度方向延伸的平臺，所述平臺與球鉸螺柱二（34）固接，球鉸螺柱二（34）的球端與氣浮墊二（35）上端面接觸。