[發明專利]一種高密度、大尺寸、高均勻性鉬鈦合金靶材的制備方法

有效

• 申請號: 201310744517.7
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN103740979A
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發明（設計）人: 劉國輝;顏君毅;姚惠龍;郭穎利;熊寧;王鐵軍;劉文彬;陳福鴿;林同偉;劉慧淵
• 申請（專利權）人: 安泰科技股份有限公司
• 主分類號: C22C14/00
• 分類號: C22C14/00;C22C27/04;C22C1/04;B22F1/00;C23C14/34;B22F3/14
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 張建綱

1.一種高密度、大尺寸、高均勻性鉬鈦合金靶材的制備方法，包括如下步驟，

（1）向Mo粉與Ti粉內加入溶劑和粘結劑后磨制成漿料；

（2）用噴霧機對所述漿料進行噴霧造粒，所述噴霧機的進口溫度為250-300℃，所述噴霧機的噴頭轉速為8000-12000rpm，得到Mo-Ti復合粉；

（3）將所述Mo-Ti復合粉壓制成尺寸規整的坯料，將多個所述坯料裝入熱等靜壓用包套內，向相鄰所述坯料間的縫隙內填充入粒徑為50-250μm的所述Mo-Ti復合粉形成厚度均勻的Mo-Ti復合粉層，所述Mo-Ti復合粉層的厚度為0.5-1mm，同時保證任意一側包套內壁與相鄰坯料外壁間的間隙小于或等于0.5mm；

（4）將包套焊接、脫氣后進行熱等靜壓處理，處理條件為750-900℃、120-160MPa，保溫保壓時間為4-6h，之后去除包套即可。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述漿料中固形物的粒徑為2μm-40μm。

3.根據權利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，所述Mo粉和Ti粉的摩爾比為（40-60）:（60-40），所述粘結劑的重量為所述Mo粉和Ti粉重量和的1-3%，加入的溶劑重量占所述漿料總重的30-60%；所述Mo粉的純度大于99.95wt%，所述Ti粉的純度大于99.8wt%。

4.根據權利要求1-3任一所述的制備方法，其特征在于，所述溶劑為乙醇或己烷；所述粘結劑為聚乙二醇或石蠟。

5.根據權利要求1-4任一所述的制備方法，其特征在于，在將多個所述坯料裝入熱等靜壓用包套之前，先對坯料進行真空熱處理，處理程序為先在1×10^-3Pa真空度、400-500℃下處理1-2h，再在1×10^-3Pa真空度、800-1000℃下處理1h。

6.根據權利要求1-5任一所述的制備方法，其特征在于，采用滾筒式球磨機磨制所述漿料，球磨時間不少于24h。

7.根據權利要求1-6任一所述的制備方法，其特征在于，采用閉式循環噴霧干燥機對所述漿料噴霧造粒。

8.根據權利要求1-7任一所述的制備方法，其特征在于，將步驟（2）制備得到的所述Mo-Ti復合粉充氮保存備用。

9.根據權利要求1-8任一所述的制備方法，其特征在于，步驟（3）中，先用冷等靜壓法將所述Mo-Ti復合粉壓制成壓坯，再將所述壓坯加工整形成坯料，其中，冷等靜壓的壓力為100-200MPa。

10.根據權利要求1-9任一所述的制備方法，其特征在于，脫氣步驟的溫度為400-600℃，真空度為1×10^-3Pa。