[發(fā)明專利]一種MEMS可調(diào)光衰減器的封裝結(jié)構(gòu)及封裝方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310744255.4
• 申請日: 2013-12-30
• 公開（公告）號: CN103698854A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發(fā)明（設計）人: 李四華;李維;楊忠鈺;施林偉
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市盛喜路科技有限公司
• 主分類號: G02B6/26
• 分類號: G02B6/26;G02B6/32
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種MEMS可調(diào)光衰減器的封裝結(jié)構(gòu)，包括聚焦透鏡（4）、帶輸入光纖（31）、輸出光纖（32）的尾纖套管（3）和采用微機電系統(tǒng)制作的光芯片（5），其特征在于：還包括可相互磁吸合的第一空心圓柱和第二空心圓柱，所述帶輸入光纖、輸出光纖的尾纖套管（3）用粘結(jié)膠固定在第一空心圓柱內(nèi)，構(gòu)成磁組件（1）；所述聚焦透鏡（4）一端為光信號入射面，另一端具有光反射面（41），聚焦透鏡（4）光線匯聚點位于光反射面（41）上；聚焦透鏡（4）用粘結(jié)膠固定在第二空心圓柱內(nèi)；所述光芯片（5）用粘結(jié)膠固定在第二空心圓柱上用于與第一空心圓柱相吸合的端部，構(gòu)成磁組件（2）；?

所述磁組件（2）上第二空心圓柱與磁組件（1）在磁吸引力作用下緊緊吸合并用粘結(jié)膠加固，相互磁吸合并用粘結(jié)膠加固的磁組件（1）、磁組件（2）構(gòu)成可調(diào)光衰減器組件；所述光衰減器組件置于一空心的外部保護套管，且外部保護套管兩端用粘結(jié)膠灌封，形成可調(diào)光衰減器。?

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種MEMS可調(diào)光衰減器的封裝結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一空心圓柱和第二空心圓柱其中一個為空心圓柱永磁鐵，另一個為能與永磁鐵相互磁吸的空心圓鐵柱或空心圓柱磁鐵。?

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種MEMS可調(diào)光衰減器的封裝結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一空心圓柱和第二空心圓柱均為空心圓柱永磁鐵，分為空心圓柱磁鐵（11）和空心圓柱磁鐵（21）；所述帶輸入光纖、輸出光纖的尾纖套管（3）用粘結(jié)膠固定在空心圓柱磁鐵（11）內(nèi)，?構(gòu)成磁組件（1）；所述聚焦透鏡（4）用粘結(jié)膠固定在另一空心圓柱磁鐵（21）內(nèi)；所述光芯片（5）用粘結(jié)膠固定在空心圓柱磁鐵（21）上用于與磁組件（1）相吸合的端部，構(gòu)成磁組件（2）。?

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種MEMS可調(diào)光衰減器的封裝結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述輸入光纖輸入的光信號線垂直穿過光芯片上的孔或槽，再經(jīng)過聚焦透鏡達到光反射面并反射；反射光信號線經(jīng)過聚焦透鏡并反向垂直穿過光芯片上的孔或槽，再經(jīng)過輸出光纖輸出光信號；上述輸入光纖輸入的光信號線和反射光信號線分別位于光芯片上擋光片上、下兩側(cè)或同側(cè)。?

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述一種MEMS可調(diào)光衰減器的封裝結(jié)構(gòu)，其特征在于：兩空心圓柱磁鐵（11）、空心圓柱磁鐵（21）為相同規(guī)格的空心圓柱永磁鐵。?

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述一種MEMS可調(diào)光衰減器的封裝結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述芯所述光芯片包括一芯片本體，芯片本體為微機電系統(tǒng)制作的圓環(huán)，圓環(huán)中間為可以讓光信號穿過的孔，圓環(huán)外徑不小于空心圓柱永磁鐵外徑，圓環(huán)內(nèi)徑不大于空心圓柱永磁鐵內(nèi)徑，孔內(nèi)有一垂直于軸心線的擋光片，擋光片位于圓環(huán)中間位置且擋光片與一彈性體中部連為一體，彈性體為條狀，彈性體兩端與圓環(huán)內(nèi)壁連接連為一體。?

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種MEMS可調(diào)光衰減器的封裝結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述尾纖套管端面與空心圓柱磁鐵（11）上用于與磁組件（2）磁吸合的端面平齊；所述聚焦透鏡的光信號入射面與空心圓柱?磁鐵（21）上用于與磁組件（1）磁吸合的端面平齊，使得光芯片用粘結(jié)膠固定在空心圓柱磁鐵（21）上時，光芯片貼合聚焦透鏡的光信號入射面。?