[發明專利]一種光刻機運動臺支撐平臺在審
| 申請號： | 201310742835.X | 申請日： | 2013-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN104749897A | 公開（公告）日： | 2015-07-01 |
| 發明（設計）人： | 葛黎黎;楊鐵剛;王天明;郭聳 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京連和連知識產權代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光輝 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光刻 機運 支撐 平臺 | ||
【權利要求書】：
1.一種光刻機運動臺支撐平臺，其特征在于，包括：一硅鋼，用于為所述運動臺提供磁預緊作用面；一吊框，所述吊框用于支撐所述硅鋼。
2.如權利要求1所述的光刻機運動臺支撐平臺，其特征在于，所述硅鋼內嵌于所述吊框。
3.如權利要求1所述的光刻機運動臺支撐平臺，其特征在于，所述硅鋼內置若干硅鋼減重腔。
4.如權利要求3所述的光刻機運動臺支撐平臺，其特征在于，所述硅鋼減重腔內設置一水冷機構。
5.如權利要求4所述的光刻機運動臺支撐平臺，其特征在于，所述水冷機構為彎折均布于所述硅鋼減重腔內的一管道。
6.如權利要求3所述的光刻機運動臺支撐平臺，其特征在于，所述硅鋼減重腔內通過風機進行風冷或熱抽排。
7.如權利要求1所述的光刻機運動臺支撐平臺，其特征在于，所述吊框還包括若干吊框減重腔。
8.如權利要求1所述的光刻機運動臺支撐平臺，其特征在于，所述吊框采用碳纖維、陶瓷或高強度鋼材料制成。
9.如權利要求1所述的光刻機運動臺支撐平臺，其特征在于，所述硅鋼與所述吊框通過螺栓或工業粘接劑連接。
10.如權利要求7所述的光刻機運動臺支撐平臺，其特征在于，采用拓撲優化的方法設計所述吊框減重腔。
11.一種光刻機，其特征在于，采用權利要求1至10所述的光刻機運動支撐平臺。
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