[發明專利]激光直寫玻璃表面制備光學微結構的方法無效
| 申請號： | 201310741935.0 | 申請日： | 2013-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN103803485A | 公開（公告）日： | 2014-05-21 |
| 發明（設計）人： | 陳繼民;黃超;方浩博 | 申請（專利權）人： | 北京工業大學 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00;B23K26/14;B23K26/362 |
| 代理公司： | 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203 | 代理人： | 劉萍 |
| 地址： | 100124 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 玻璃 表面 制備 光學 微結構 方法 | ||
【權利要求書】：
1.激光直寫玻璃表面制備光學微結構的方法，其特征在于，包括以下步驟：
將激光聚焦到玻璃表面，開啟壓縮氣罐閥門，通過內徑為4mm～7mm的通氣管平行于玻璃表面吹輔助氣體，輔助氣體壓強為0.3MPa～0.4MPa，平臺運動速度設定為200mm/min～500mm/min，對于BK7玻璃激光能量密度設定為3.1J/cm2～7.5J/cm2，對于普通玻璃能量密度設定為2.1J/cm2～6.4J/cm2；開光加工；完成后利用超聲波清洗2～5分鐘；激光器是低重頻0.5KHz～5KHz、長脈寬20～120μs的激光器；激光器是532nm半導體泵浦激光器以及1064nm固體激光器。
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