[發(fā)明專利]離子注入裝置及成膜裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310740932.5
• 申請日: 2013-12-27
• 公開（公告）號: CN104064427A
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發(fā)明（設計）人: 光峰祐規(guī);其他發(fā)明人請求不公開姓名
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業(yè)株式會社
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/02
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

技術領域

本申請主張基于2013年3月18日申請的日本專利申請第2013-055279號的優(yōu)先權。該申請的全部內容通過參考援用于本說明書中。

本發(fā)明涉及一種離子注入裝置及成膜裝置。

背景技術

專利文獻1公開有將離子注入到基板（例如，半導體基板或玻璃基板）的離子注入裝置。向基板的離子注入以改變基板的導電性，或改變基板的晶體結構等為目的實施。

作為離子注入裝置，已知有具備形成離子束的離子源、及排列配置成一列的裝載鎖定腔室、真空腔室、及卸載鎖定腔室的直列式離子注入裝置。離子源配置于真空腔室。基板從入口側（上游側）的裝載鎖定腔室朝向出口側（下游側）的卸載鎖定腔室，沿這些腔室的排列方向以直線狀傳送。基板在其傳送過程中通過真空腔室內時，從離子源接收離子束的照射。另外，作為基板的傳送方法，有直接傳送基板的方法，或傳送載置有基板的托盤的方法。

專利文獻1：日本特開2013-004610號公報

上述離子注入裝置通常具有將1個基板或1個托盤搬入裝載鎖定腔室而進行真空抽取的工序、在真空腔室內傳送該基板或托盤且進行基于離子源的離子注入處理的工序、將基板或托盤傳送到被真空抽取的卸載鎖定腔室的工序、及在卸載鎖定腔室中使氣氛回到大氣壓后，將該基板或托盤從卸載鎖定腔室搬出的工序。通常，相比傳送1個基板或1個托盤并進行離子注入處理的時間，在裝載鎖定腔室及卸載鎖定腔室中的真空抽取的時間更長。由此，在裝載鎖定腔室及卸載鎖定腔室中的真空抽取的時間成為決定基板的每單位時間的處理數（通過量）的限速。

發(fā)明內容

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠提高通過量來實現(xiàn)生產率的提高的離子注入裝置及成膜裝置。

本發(fā)明的一側面所涉及的離子注入裝置具備依次排列配置的第1～第3真空腔室、在第1～第3真空腔室內傳送包括基板在內的被傳送物的傳送部、設置于第2真空腔室且朝向基板照射離子束的離子源、設置于第1真空腔室的卸載部、及設置于第3真空腔室的堆積部，卸載部從堆積有多個被傳送物的堆積體中卸載1個被傳送物并通過傳送部使該1個被傳送物傳送到第2真空腔室側，堆積部將從第2真空腔室側傳送的1個被傳送物堆積多個而形成新的堆積體。

在本發(fā)明的一側面所涉及的離子注入裝置中，卸載部從堆積有多個被傳送物的堆積體中卸載1個被傳送物并通過傳送部使該1個被傳送物傳送到第2真空腔室側。因此，后續(xù)的堆積體在裝載鎖定腔室內進行真空抽取的期間，對多個基板進行離子注入處理。而且，在本發(fā)明的一側面所涉及的離子注入裝置中，堆積部將從第2真空腔室側傳送的1個被傳送物堆積多個而形成新的堆積體。因此，在直至卸載鎖定腔室完成真空抽取的期間形成有新的堆積體。根據以上，在裝載鎖定腔室及卸載鎖定腔室中進行真空抽取的期間，對多個被傳送物進行向真空腔室的搬入、離子注入處理及從真空腔室的搬出。因此，能夠提高通過量來實現(xiàn)生產率的提高。

卸載部及堆積部可以分別具有：支承部，能夠支承被傳送物的底面；升降驅動部，使支承部進行升降；及旋轉驅動部，通過升降驅動部進行支承部的升降時，在支承部的升降軌道和被傳送物不重疊的第1位置與升降軌道和被傳送物重疊的第2位置之間，使支承部移動。此時，通過旋轉驅動部使支承部位于第2位置，并且通過升降驅動部使支承部進行升降，從而能夠使被傳送物進行升降。

旋轉驅動部可以通過使支承部繞與升降軌道平行的軸旋轉，從而使支承部在第1位置與第2位置之間移動。此時，與使支承部進行水平移動而在第1位置與第2位置之間移動時相比，支承部的移動范圍變小。因此，能夠將卸載部及堆積部小型化。

支承部可以具有呈以軸為中心的圓弧狀的外形。此時，支承部旋轉時，從該軸向觀察時支承部停留在以該軸為中心的圓內。因此，無需確保用于支承部的移動的大空間，能夠實現(xiàn)節(jié)省空間化。

傳送部由多個輥構成，支承部可以通過升降驅動部以通過多個輥中相鄰的輥之間的方式進行升降。此時，即使被傳送物的寬度小于輥的寬度，也能夠進行被傳送物的卸載及堆積。

被傳送物為載置有基板的托盤，卸載部可從堆積有多個托盤的堆積體中卸載1個托盤并通過傳送部使該1個托盤傳送到第2真空腔室側，堆積部可將從第2真空腔室側傳送的1個托盤堆積多個而形成新的堆積體。