[發明專利]柔性CIGS太陽能電池的制備裝置

在審

• 申請號: 201310740638.4
• 申請日: 2013-12-27
• 公開（公告）號: CN103710670A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 陳進中;莫經耀;吳伯增;林東東;甘振英
• 申請（專利權）人: 柳州百韌特先進材料有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/06;H01L31/18
• 代理公司: 廣州凱東知識產權代理有限公司 44259
• 代理人: 姚迎新

1.柔性CIGS太陽能電池的制備裝置，包括真空室，其特征在于：真空室內設置有工作臺，工作臺外側設置有將柔性CIGS太陽能電池基板輸送至該工作臺的推進收納機構，工作臺上安裝有加熱器，在工作臺上側設置有濺射源和與濺射源對應的兩靶材，濺射源通過分別轟擊兩靶材使工作臺的基板上沉積形成吸收層和緩沖層。

2.根據權利要求1所述的制備裝置，其特征在于：在工作臺上側水平設置有可旋轉的空心筒，空心筒內置所述濺射源，在空心筒外壁沿周向間隔對應設置有吸收層靶材和緩沖層靶材，所述空心筒旋轉帶動靶材轉動。

3.根據權利要求2所述的制備裝置，其特征在于：所述工作臺為可旋轉的水平設置的輥筒，輥筒內安裝有所述加熱器，在輥筒的一側設置有所述推進收納機構，該推進收納機構將基板推送至輥筒外周壁使其纏繞在輥筒上，并收納纏繞后的基板；基板隨著輥筒轉動時，濺射源通過轟擊吸收層靶材使基板上沉積形成吸收層；形成吸收層的基板隨著輥筒反向轉動時，濺射源通過轟擊緩沖層靶材使吸收層上沉積形成緩沖層。

4.根據權利要求2所述的制備裝置，其特征在于：所述工作臺為水平設置的平臺，平臺兩端安裝有所述推進收納機構，在平臺下側安裝有所述加熱器；當推進收納機構將基板從平臺上側一端輸送至另一端時，濺射源通過轟擊吸收層靶材使基板上沉積形成吸收層；當推進收納機構將沉積有吸收層的基板從平臺上側所述另一端輸送至所述一端時，濺射源通過轟擊緩沖層靶材使吸收層上沉積形成緩沖層。

5.根據權利要求1至4中任意一項所述的制備裝置，其特征在于：所述吸收層靶材通過CIGS粉末壓制而成。

6.根據權利要求1至4中任意一項所述的制備裝置，其特征在于：所述推進收納機構包括兩滾子，當沉積吸收層時，其中一個滾子裝載卷筒基板，并將基板片段推進至工作臺，另一個滾子載出基板并將其收成卷；當沉積緩沖層時，所述另一個滾子裝載卷筒基板，并將基板片段推進至工作臺，所述其中一個滾子載出基板并將其收成卷。