[發明專利]一種低損耗極紫外光傳輸系統

有效

• 申請號: 201310740352.6
• 申請日: 2013-12-26
• 公開（公告）號: CN103698899A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 王超;田進壽;趙衛;白永林
• 申請（專利權）人: 中國科學院西安光學精密機械研究所
• 主分類號: G02B27/44
• 分類號: G02B27/44;G02B5/10;G01J3/02
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211
• 代理人: 楊引雪

1.一種低損耗極紫外光傳輸系統，其特征在于：

包括超環面鏡、光柵；

所述超環面鏡為非球面掠入射型超環面鏡；光柵為掠入射型凹面聚焦光柵；

超環面鏡的入射光為極紫外光，入射光的光源位于超環面鏡物點處；

所述入射光經過超環面鏡聚焦后為聚焦光，該聚焦光再入射至光柵，經過光柵衍射后，成為衍射光，最后該衍射光均聚焦在光譜面上，該光譜面為平面；

所述光柵位于超環面鏡聚焦點和光譜面之間；光柵表面設有光柵線；光柵線密度的分布滿足如下公式關系：

d(w)＝d₀+d₁w+d₂w²+d₃w³，

其中，w為每條光柵線的中點距離光柵中心法線的距離；d₀為光柵線密度，d₀＝1190～1210l/mm；d₁＝-3.646～-3.446mm^-2，d₂＝8.556～8.756×10^-3mm^-3，d₃＝-2.309～-2.109×10^-5mm^-4。

2.根據權利要求1所述的低損耗極紫外光傳輸系統，其特征在于：

所述入射光、聚焦光和衍射光均位于同一平面；

超環面鏡觸光面橫向方向上的面為橫向面，縱向方向上的面為縱向面；

橫向面的曲率半徑R_h＝3225～3235mm，縱向面的曲率半徑Rv＝89.5～91.5mm；

入射光經過超環面鏡聚焦后，產生橫向面聚焦點和縱向面聚焦點，所述橫向面聚焦點和縱向面聚焦點均與超環面鏡聚焦點重合；

超環面鏡物點與超環面鏡中心之間的距離為r；聚焦點與超環面鏡中心之間的距離為r′；

入射光與超環面鏡中心法線之間的夾角為80.4°，且r和r′滿足如下公式關系，1r+1r′=1270.]]>

3.根據權利要求2所述的低損耗極紫外光傳輸系統，其特征在于：所述橫向面的曲率半徑R_h＝3230mm，縱向面的曲率半徑Rv＝90.5mm。

4.根據權利要求3所述的低損耗極紫外光傳輸系統，其特征在于：所述r＝r′。

5.根據權利要求4所述的低損耗極紫外光傳輸系統，其特征在于：所述r＝r′540mm。

6.根據權利要求5所述的低損耗極紫外光傳輸系統，其特征在于：所述超環面鏡為鍍金超環面鏡。

7.根據權利要求6所述的低損耗極紫外光傳輸系統，其特征在于：所述超環面鏡中心法線與水平面平行。

8.根據權利要求1至7任一權利要求所述的低損耗極紫外光傳輸系統，其特征在于：

所述d₀＝1200l/mm，d₁＝-3.546mm^-2，d₂＝8.656×10^-3mm^-3，d₃＝-2.209×10^-5mm^-4。