[發明專利]一種反應腔室及等離子體加工設備有效
| 申請號： | 201310740116.4 | 申請日： | 2013-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN104752134B | 公開（公告）日： | 2017-02-15 |
| 發明（設計）人： | 劉建生;陳鵬 | 申請（專利權）人： | 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,張天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 反應 等離子體 加工 設備 | ||
【說明書】：
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