[發明專利]條形磁鐵、磁靶及磁控濺射設備

有效

• 申請號: 201310739712.0
• 申請日: 2013-12-26
• 公開（公告）號: CN103668096A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 李正亮;劉震;丁錄科;孫冰;曹占鋒;惠官寶
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 李迪

1.一種條形磁鐵，其特征在于，所述條形磁鐵在中間區域設有凸起結構。

2.根據權利要求1所述的條形磁鐵，其特征在于，所述凸起結構為沿該條形磁鐵長度方向設置在所述條形磁鐵上的彎折結構。

3.根據權利要求1所述的條形磁鐵，其特征在于，所述彎折結構的彎折角度范圍為165°～178°。

4.根據權利要求1所述的條形磁鐵，其特征在于，所述條形磁鐵包括：

外圍的S極和內部的N極；

或者，外圍的N極和內部的S極。

5.一種磁靶，其特征在于，包括固定板和設置在所述固定板上的如權利要求1～4任一項所述的條形磁鐵；所述條形磁鐵的凸起結構朝向所述固定板凸起設置。

6.根據權利要求5所述的磁靶，其特征在于，所述磁靶包括多個條形磁鐵，所述多個條形磁鐵包括間插排布的內部N極、外圍S極的條形磁鐵和內部S極、外圍N極的條形磁鐵。

7.根據權利要求5所述的磁靶，其特征在于，所述條形磁鐵為永磁鐵或電磁鐵。

8.根據權利要求5所述的磁靶，其特征在于，所述固定板上設有滑軌，所述條形磁鐵以能夠在所述滑軌上移動的方式連接在該滑軌上。

9.一種磁控濺射設備，其特征在于，包括靶材、背板和如權利要求5～8任一項所述的磁靶，所述靶材設置在所述背板的一側，所述磁靶設置在該背板的另一側。

10.根據權利要求9所述的磁控濺射設備，其特征在于，還包括驅動裝置，該驅動裝置用于驅動所述條形磁鐵沿預設驅動軌跡移動。