[發(fā)明專利]基于正交偏振光的雙通道時(shí)空混合相移菲佐干涉儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310737972.4
• 申請日: 2013-12-27
• 公開（公告）號: CN103712554A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 呂曉旭;孫鵬;王翰林;王函鹍;鄧健;鐘麗云
• 申請（專利權(quán)）人: 華南師范大學(xué)
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 廣州知友專利商標(biāo)代理有限公司 44104
• 代理人: 宣國華;高文龍

1.基于正交偏振光的雙通道時(shí)空混合相移菲佐干涉儀，其特征在于：所述干涉儀包括光源及光源調(diào)整單元、分光準(zhǔn)直單元、信號提取和時(shí)域相移單元、成像單元、空域相移單元、圖像采集單元，其中，所述的光源及光源調(diào)整單元包括光源（101）、濾光片（102）、偏振調(diào)整器（103）和光束擴(kuò)展透鏡與空間濾波組件（104），所述的分光準(zhǔn)直單元包括第一非偏振分光棱鏡（105）和準(zhǔn)直透鏡（106），所述的光源（101）、濾光片（102）、偏振調(diào)整器（103）、光束擴(kuò)展透鏡與空間濾波組件（104）、第一非偏振分光棱鏡（105）、準(zhǔn)直透鏡（106）和信號提取和時(shí)域相移單元（107）沿z方向的正方向依次設(shè)置，信號提取和時(shí)域相移單元（107）正對待測量物體（108），所述的成像單元為成像物鏡（109），所述的空域相移單元包括1/2波片（110）、第二非偏振分光棱鏡（111）、x向偏振片（113）和z向偏振片（114），構(gòu)成雙通道，所述的圖像采集單元包括x向CCD（115）和z向CCD（116），所述的成像物鏡（109）、1/2波片（110）、第二非偏振分光棱鏡（111）、x向偏振片（113）和x向CCD（115）沿x方向的正方向依次設(shè)置，1/2波片（110）的快軸方向與x方向呈22.5°的夾角，并且所述的第一非偏振分光棱鏡（105）處于x方向與z方向相交的交點(diǎn)處，所述的z向偏振片（114）與x向偏振片（113）以所述的第二非偏振分光棱鏡（111）為基點(diǎn)，按照相互垂直偏振位置的方向放置，z向偏振片（114）和z向CCD（116）沿與z方向的負(fù)方向相平行的方向設(shè)置，z向CCD（116）和x向CCD（115）在兩個(gè)通道上，用于采集待測量物體（108）的具有相移量的干涉條紋圖。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于正交偏振光的雙通道時(shí)空混合相移菲佐干涉儀，其特征在于：所述第二非偏振分光棱鏡（111）和x向偏振片（113）之間還增設(shè)有1/4波片（112），該1/4波片（112）的快軸方向與x方向呈45°的夾角，用于采集相移量為90°的條紋圖，使得兩步算法提取的相位更精確。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基于正交偏振光的雙通道時(shí)空混合相移菲佐干涉儀，其特征在于：所述的信號提取和時(shí)域相移單元（107）包括偏振分光棱鏡（1071）、可移動平臺（1072）和固定平臺（1073），所述固定平臺（1073）具有壓電陶瓷微位移器，可移動平臺（1072）安裝在固定平臺（1073）上，并且與壓電陶瓷微位移器相連接，能夠在壓電陶瓷微位移器驅(qū)動下產(chǎn)生相移，所述的偏振分光棱鏡（1071）安裝在可移動平臺（1072）上，與可移動平臺（1072）聯(lián)動，所述的偏振分光棱鏡（1071）位于z方向上，位于準(zhǔn)直透鏡（106）與待測量物體（108）之間，并且正對待測量物體（108）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于正交偏振光的雙通道時(shí)空混合相移菲佐干涉儀，其特征在于：所述的信號提取和時(shí)域相移單元（107還增設(shè)有反射鏡（1074），所述的反射鏡（1074）也安裝在可移動平臺（1072）上，反射鏡（1074）正對偏振分光棱鏡（1071），并且垂直于y方向。