[發明專利]鏡頭模組及其鏡片、晶圓級鏡片陣列及其制作方法

有效

• 申請號: 201310737710.8
• 申請日: 2013-12-27
• 公開（公告）號: CN104749664A
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發明（設計）人: 于立新;黃鵬飛
• 申請（專利權）人: 南昌歐菲光電技術有限公司;南昌歐菲光科技有限公司;深圳歐菲光科技股份有限公司;蘇州歐菲光科技有限公司
• 主分類號: G02B3/00
• 分類號: G02B3/00;G02B7/02;G03F7/00
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

技術領域

本發明涉及一種鏡片，特別是涉及一種鏡頭模組及其鏡片、晶圓級鏡片陣列及其制作方法。

背景技術

目前，晶圓級鏡片陣列的制方法通常是，提供一透明基板，在基板上的一個表面涂布成型膠，利用壓印模具對成形膠進行模壓形成球面或非球面的鏡片陣列。使用壓印模具壓印，制成后只能成型對應一種類型的鏡片陣列。并且，基板在一個表面涂布成型膠形膠進行模壓形成球面或非球面的鏡片陣列之后，基板的另一表面不能再進行壓印。因此，難以滿足更多的光學設計需求。

發明內容

基于此，有必要提供一種能夠避免使用壓印模具壓印，可以滿足多種光學設計需要的鏡頭模組及其鏡片。

一種鏡頭模組的鏡片，包括透明基板，所述透明基板包括相對的第一表面及第二表面，所述第一表面上設有一個凸臺狀光學部，所述凸臺狀光學部包括多個層疊設置圓柱，且多個所述圓柱的對稱軸位于同一直線上，多個所述圓柱的直徑沿著遠離所述第一表面方向逐漸減小，所述第二表面上設有一個凹槽狀光學部，所述凹槽狀光學部與所述凸臺狀光學部的光軸位于同一直線上，所述凹槽狀光學部的內側壁環繞設有多個環形的臺階部，每個所述臺階部圍成一個圓槽，多個所述圓槽的對稱軸位于同一直線上，多個所述圓槽的直徑自所述第二表面朝向所述第一表面逐漸減小。

在其中一個實施例中，所述透明基板為玻璃或二氧化硅，所述凸臺狀光學部的多個圓柱的直徑成等差數列變化，所述凹槽狀光學部的多個圓槽的直徑成等差數列變化。

在其中一個實施例中，多個所述圓柱的圓形的外周邊均位于同一球面上，多個所述圓槽的圓形的外周邊均位于同一非球面上。

在其中一個實施例中，所述凸臺狀光學部的所述圓柱數量等于所述凹槽狀光學部的所述圓槽的數量。

一種鏡頭模組，包括上述的鏡片。

還提供一種晶圓級鏡片陣列及其制作方法。

一種晶圓級鏡片陣列，包括多個上述的鏡片，多個所述鏡片的所述凸臺狀光學部及所述凹槽狀光學部均呈陣列排布，并且所述多個鏡片的透明基板為一整塊板體。

一種晶圓級鏡片陣列的制作方法，包括：

步驟A，提供一透明基板，所述透明基板具有相對的第一表面及第二表面；

步驟B，經過多次曝光、顯影、蝕刻、清洗，在所述第一表面形成多個凸臺狀光學部，在所述第二表面形成多個凹槽狀光學部，所述凸臺狀光學部包括多個層疊設置圓柱，且多個所述圓柱的對稱軸位于同一直線上，多個所述圓柱的直徑沿著遠離所述第一表面方向逐漸減小，所述第二表面上設有一個凹槽狀光學部，所述凹槽狀光學部與所述凸臺狀光學部的光軸位于同一直線上，所述凹槽狀光學部的內側壁環繞設有多個環形的臺階部，每個所述臺階部圍成一個圓槽，多個所述圓槽的對稱軸位于同一直線上，多個所述圓槽的直徑自所述第二表面朝向所述第一表面逐漸減小。

在其中一個實施例中，所述步驟B進一步包括：

步驟B1，分別在第一表面及第二表面上涂布光阻劑層，對光阻劑層進行曝光、顯影，去除預定區域光阻劑層，使該第一表面上形成多個圓形的第一遮擋部，第二表面上形成多個圓形的第一裸露部，第一遮擋部與第一裸露部相對設置；

步驟B2，對第一表面及第二表面進行蝕刻，第一表面于第一遮擋部形成第一級的圓柱，第二表面于第一裸露部處形成第一級的圓槽，所述第一級的圓槽的側壁為第一級的臺階部；

步驟B3，分別在第一級的圓柱的外圍及第一級的圓槽的底壁涂布光阻劑層，進行曝光、顯影、在第一級的圓柱的外圍形成圓環形的第二遮擋部，第一級的圓槽的底壁形成圓形的第二裸露部；

步驟B4，對第一表面及第二表面進行蝕刻，第一級的圓柱的下方形成第二級的圓柱，第二級的圓柱的直徑小于第一級的圓柱的直徑，第二級的圓柱與第一級的圓柱的對稱軸位于同一直線上，第一級的圓槽的底部形成第二級的圓槽，第二級的圓槽的直徑小于第一級的圓槽的直徑，第二級的圓槽與第一級的圓槽的對稱軸位于同一直線上，所述第二級的圓槽的側壁為第二級的臺階部；

步驟B5，去除光阻劑層，形成凸臺狀光學部及凹槽狀光學部。

在其中一個實施例中，還包括：在步驟B4與步驟B5之間，重復所述步驟B3及步驟B4，以形成第N級的所述圓柱及第N級的所述圓槽，N大于等于3，前一級的圓柱的底部形成后一級的圓柱，多個圓柱的直徑依次逐漸增大，前一級的圓槽的底部形成后一級的圓槽，以形成多個所述臺階部，多個圓槽的直徑依次逐漸減小。

在其中一個實施例中，所述步驟B進一步包括：