[發(fā)明專利]一種提高ITO導(dǎo)電薄膜表面紅外波段透光率的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310737480.5 | 申請日： | 2013-12-24 |
| 公開（公告）號： | CN103737181A | 公開（公告）日： | 2014-04-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王文君;劉鵬;梅雪松;王恪典;劉斌;趙萬芹 | 申請（專利權(quán)）人： | 西安交通大學(xué) |
| 主分類號： | B23K26/36 | 分類號： | B23K26/36;B23K26/064;H01L31/18 |
| 代理公司： | 西安智大知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 61215 | 代理人： | 賀建斌 |
| 地址： | 710049*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 提高 ito 導(dǎo)電 薄膜 表面 紅外 波段 透光率 方法 | ||
1.一種提高ITO導(dǎo)電薄膜表面紅外波段透光率的方法，其特征在于，包括以下步驟：
1)首先，調(diào)節(jié)皮秒激光器輸出激光波長為1064nm，重頻1KHz，脈寬10ps，調(diào)節(jié)激光功率衰減片，使激光功率在22-25mw之間；
2)其次，在光路中選用焦距為150mm的聚焦透鏡用于聚焦光束，在聚焦透鏡前加裝小孔光闌，并調(diào)節(jié)小孔光闌通光孔大小，使沿著光路方向離焦點(diǎn)2mm處光斑大小為40-45μm；
3)最后，利用調(diào)好的皮秒激光輻照可移動載物臺上的ITO導(dǎo)電薄膜，可移動載物臺沿水平方向移動，速度為2-4mm/s，當(dāng)激光光斑達(dá)到ITO導(dǎo)電薄膜水平方向的邊緣時，可移動載物臺在豎直方向移動30-40μm距離，然后繼續(xù)在水平方向以2-4mm/s的速度移動，重復(fù)這樣的步驟，直至做出大面積納米波紋結(jié)構(gòu)為止，整個加工過程中皮秒激光光束中心線必須與ITO導(dǎo)電薄膜表面保持垂直，而且ITO導(dǎo)電薄膜表面與皮秒激光的焦點(diǎn)位置距離為2-3mm。
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