[發明專利]一種離子注入分離藍寶石的方法有效
| 申請號： | 201310737017.0 | 申請日： | 2013-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN103696022A | 公開（公告）日： | 2014-04-02 |
| 發明（設計）人： | 季泳;張龔磊 | 申請（專利權）人： | 貴州藍科睿思技術研發中心 |
| 主分類號： | C30B33/12 | 分類號： | C30B33/12;C30B29/20 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 谷慶紅 |
| 地址： | 550004 貴州省貴陽*** | 國省代碼： | 貴州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 離子 注入 分離 藍寶石 方法 | ||
1.一種離子注入分離藍寶石的方法，其特征在于：采用如下步驟：
（1）將藍寶石基片置于真空室內的基座上，并確保基片溫度在220℃內；
（2）將輕氣體離子注入藍寶石基片；
（3）等待冷卻至室溫后取出基片；
（4）清洗藍寶石基片使之鍵合；
（5）以300～500℃烘烤藍寶石基片，使藍寶石基片在加熱處理下于鍵合處基本分離；
（6）以1600～2000℃烘烤藍寶石基片，使藍寶石基片在高溫下退火并加強表面強度，隨后自然冷卻；
（7）對分離斷裂處進行化學腐蝕，完全分離兩個表面。
2.如權利要求1所述的離子注入分離藍寶石的方法，其特征在于：所述步驟（2）中采用多級等離子源進行離子注入。
3.如權利要求1或2所述的離子注入分離藍寶石的方法，其特征在于：所述步驟（2）中離子注入濃度為1010～1014cm-3。
4.如權利要求1所述的離子注入分離藍寶石的方法，其特征在于：所述步驟（2）中注入能量為50Kev～10Mev，注入劑量為1015～1018cm-2。
5.如權利要求1所述的離子注入分離藍寶石的方法，其特征在于：所述步驟（2）中注入時離子束射入角度偏離藍寶石基片法線5～15°。
6.如權利要求1所述的離子注入分離藍寶石的方法，其特征在于：所述步驟（5）中，自步驟（3）中室溫升溫至300～500℃的時間在60秒內，在300～500℃下持續烘烤時間為20～150秒。
7.如權利要求1所述的離子注入分離藍寶石的方法，其特征在于：所述步驟（6）中，自步驟（5）中300～500℃升溫至1600～2000℃的時間為25～40分鐘，在1600～2000℃下持續烘烤時間為3～5小時。
8.如權利要求1所述的離子注入分離藍寶石的方法，其特征在于：所述步驟（7）中化學腐蝕為強酸腐蝕。
9.如權利要求1所述的離子注入分離藍寶石的方法，其特征在于：所述步驟（2）中輕氣體離子為He離子。
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