[發明專利]一種金剛石膜涂層汽車鋁輪轂刀片的制備工藝

在審

• 申請號: 201310736148.7
• 申請日: 2013-12-29
• 公開（公告）號: CN103741115A
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發明（設計）人: 陳遠達;王勝云;何靜
• 申請（專利權）人: 湖南中航超強金剛石膜高科技有限公司
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/44;C23C16/52;C23C16/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種金剛石膜涂層汽車鋁輪轂刀片的制備工藝，其特征在于其工藝步驟為：

第一步：清洗干燥：在恒溫干燥室內清洗去防銹油，通過清洗干燥聯動裝置將清洗的工件進入干燥箱，溫度控制在85-90?℃；

所述清洗干燥聯動裝置是：高壓噴淋清洗機由輸送帶或懸掛線送入待清洗的工件，經過一定的程序，完成工件的除油、清洗、烘干、然后由輸送帶自動送出；

第二步：拋研工件：用金剛石微粉拋研上步清洗干燥后的工件，使涂層金剛石膜形成框架基礎；

第三步：預處理：用自制的溶液在超聲波清洗機中刻蝕工件表面，烘干；

所述自制的溶液是：用Na₂FeO_4、KOH、H₂0按重量比1:2:20的比例配制而成；

第四步：再次清洗：超聲波清洗機中使用丙酮與無水乙醇按照重量比為3:7的配比，再次進行脫脂、去污、清洗、干燥；

第五步：調節設備：將上步烘干的工件置于熱絲CVD沉積設備基片臺上，將熱絲CVD沉積設備抽真空至熱偶計示數為5-6?Pa，30-40?min，熱絲加電壓電流逐步加熱至1800-2000?℃；同時輸入C、H分別至1-2Pa,對工件涂層面形核；同時輸入Ar至0.5-1.5Pa，對工件加負偏壓5A；

第六步：形核階段：上步加熱時間完成后，調節熱絲CVD沉積設備的熱絲電壓電流逐步加熱至2500℃，將熱絲CVD沉積設備抽真空至熱偶計示數為6-7?Pa，?50?min；

第七步：生長、沉積階段：上步加熱時間完成后，調節熱絲電壓電流逐步加熱至2800℃，將熱絲CVD沉積設備抽真空至熱偶計示數為6-7?Pa，加熱6小時；

第八步：反打：調整正偏壓至8A運行約15?min，反打完成，金剛石薄膜沉積完畢。