[發(fā)明專利]一種氮氧化鉻和類金剛石膜復(fù)合涂層掛面刀輥的制備工藝

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310736143.4
• 申請(qǐng)日: 2013-12-29
• 公開（公告）號(hào): CN103741093B
• 公開（公告）日: 2019-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳遠(yuǎn)達(dá);楊中凱;王勝云;何靜;楊逸;沈軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢世紀(jì)中航超強(qiáng)金剛石膜高科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/06
• 分類號(hào): C23C14/06;C23C14/22
• 代理公司: 北京高沃律師事務(wù)所 11569
• 代理人: 王加貴

1.一種氮氧化鉻和類金剛石膜復(fù)合涂層掛面刀輥的制備工藝，其特征在于包括如下步驟：

第一步：清洗干燥：在恒溫干燥室內(nèi)用清洗液清洗去除面刀桿表面密布的大凹槽和小凹槽防銹油和污漬，通過清洗干燥聯(lián)動(dòng)裝置將清洗的工件進(jìn)入干燥箱，溫度控制在60-70℃,烘干工件裝入專用夾具備用進(jìn)入下一步；

所述清洗干燥聯(lián)動(dòng)裝置是：高壓噴淋清洗機(jī)由輸送帶或懸掛線送入待清洗的工件，經(jīng)過一定的程序，完成工件的除油、清洗、烘干、然后由輸送帶自動(dòng)送出；

所述清洗液：金屬洗滌劑與除油劑按1:1重量比配制；

第二步：工件預(yù)處理噴砂：用金剛石W10微粉噴射外圓，使用物理方法刻蝕工件表面，使涂層類金剛石膜形成框架基礎(chǔ)；

第三步：工件預(yù)處理拋研，用金剛石W5微粉拋研工件外圓，進(jìn)一步刻蝕工件表面；

第四步：超聲波清洗機(jī)中使用帕卡瀨津脫脂劑FC-4360進(jìn)行脫脂清洗干燥；

第五步：超聲波清洗機(jī)中使用丙酮與無(wú)水乙醇按照重量比3:7的配比，再次進(jìn)行脫脂、去污、清洗、干燥；

第六步：將再次清洗干燥后的工件裝入DLC復(fù)合涂層設(shè)備；

第七步：通入Ar至0.5-1.5Pa，對(duì)工件加偏壓600-800V；

第八步：通入N和C、H至l-2Pa，對(duì)工件涂層面形核，即：為涂層致密的打底層和工作層編織構(gòu)架；

第九步：通入N和O ₂，開啟2個(gè)鉻靶沉積氮氧化鉻過渡層CrNO₂,厚度20-30μm；

第十步：涂層過渡層CrNO₂之后，間歇35min,通入N和CH₄、H，開啟8個(gè)石墨磁過濾弧靶，打底層上沉積DLC外膜層，沉積7h，DLC類金剛石薄膜厚度10-15μm。