[發(fā)明專利]一種用于OGS小片制程的鍍膜夾具無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201310734248.6 | 申請(qǐng)日： | 2013-12-27 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN103710676A | 公開（公告）日： | 2014-04-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王進(jìn)東 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 江蘇宇天港玻新材料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C23C14/35 | 分類號(hào)： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 江蘇圣典律師事務(wù)所 32237 | 代理人： | 朱慶華 |
| 地址： | 223100 江蘇省*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 ogs 小片 鍍膜 夾具 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種用于OGS小片制程的鍍膜夾具，其特征在于，包括多個(gè)小片基板夾具，所述小片基板夾具呈矩形，由四個(gè)邊框首尾連接而成，所述邊框與所述基板相鄰一側(cè)設(shè)置有卡槽，所述基板邊緣固定在所述卡槽內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于OGS小片制程的鍍膜夾具，其特征在于，所述小片基板夾具呈正方形。
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C23 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
