[發(fā)明專利]單晶硅棒截斷金剛石線鋸裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310731810.X | 申請日： | 2013-12-26 |
| 公開（公告）號： | CN103753716A | 公開（公告）日： | 2014-04-30 |
| 發(fā)明（設計）人： | 陳超;胡喬帆;秦建新;李東平;張昌龍;林峰;呂智;王進保 | 申請（專利權）人： | 中國有色桂林礦產地質研究院有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/04 | 分類號： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 桂林市持衡專利商標事務所有限公司 45107 | 代理人： | 廖世傳 |
| 地址： | 541004 廣*** | 國省代碼： | 廣西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 單晶硅 截斷 金剛石 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.單晶硅棒截斷金剛石線鋸裝置，包括切斷單晶硅棒（4）的金剛石線鋸，其特征在于：所述金剛石線鋸包括兩條以上的環(huán)形金剛石鋸絲（1），各條環(huán)形金剛石鋸絲（1）分別由不同的導輪組張緊而形成兩個以上的切割面，各切割面相互平行且之間的距離可調節(jié)。
2.根據(jù)權利要求1所述的單晶硅棒截斷金剛石線鋸裝置，其特征在于：各條環(huán)形金剛石鋸絲（1）對單晶硅棒（4）的切割段處于與單晶硅棒（4）軸線平行的同一平面上。
3.根據(jù)權利要求2所述的單晶硅棒截斷金剛石線鋸裝置，其特征在于：所述切割段兩端的環(huán)形金剛石鋸絲（1）上設有導向輪（3）。
4.根據(jù)權利要求1～3中任意一項所述的單晶硅棒截斷金剛石線鋸裝置，其特征在于：各導輪組中導輪（2）的個數(shù)為2個、或為3個、或為4個。
5.根據(jù)權利要求4所述的單晶硅棒截斷金剛石線鋸裝置，其特征在于：所述導輪（2）中包括一個主動輪和一個張緊輪。
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