[發(fā)明專利]一種酸銅整平劑的應(yīng)用有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310731443.3 | 申請日: | 2013-12-26 |
| 公開(公告)號: | CN103924268A | 公開(公告)日: | 2014-07-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 馬濤;董培培;張蕓 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州昕皓新材料科技有限公司 |
| 主分類號: | C25D3/38 | 分類號: | C25D3/38;C07D311/84 |
| 代理公司: | 上海申新律師事務(wù)所 31272 | 代理人: | 劉懿 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇州市吳*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 酸銅整平劑 應(yīng)用 | ||
1.一種酸銅整平劑的應(yīng)用,所述酸銅整平劑的分子結(jié)構(gòu)式為?
其中,陰離子X=Cl-或Br-;R1=O或S或N;R2,R3,R4=H、烷基、烯基、芳烷基、雜芳烷基、取代烷基、取代烯基、取代芳烷基或取代雜芳烷基中的一種,其特征在于:所述酸銅整平劑應(yīng)用于可調(diào)表面形貌晶圓電鍍中。?
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸銅整平劑的應(yīng)用,其特征在于:所述的酸銅整平劑為L113,其分子結(jié)構(gòu)式為?
。
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