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[發(fā)明專利]一種酸銅整平劑的應(yīng)用有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201310731443.3 申請日: 2013-12-26
公開(公告)號: CN103924268A 公開(公告)日: 2014-07-16
發(fā)明(設(shè)計)人: 馬濤;董培培;張蕓 申請(專利權(quán))人: 蘇州昕皓新材料科技有限公司
主分類號: C25D3/38 分類號: C25D3/38;C07D311/84
代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272 代理人: 劉懿
地址: 215000 江蘇省蘇州市吳*** 國省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 酸銅整平劑 應(yīng)用
【權(quán)利要求書】:

1.一種酸銅整平劑的應(yīng)用,所述酸銅整平劑的分子結(jié)構(gòu)式為?

其中,陰離子X=Cl-或Br-;R1=O或S或N;R2,R3,R4=H、烷基、烯基、芳烷基、雜芳烷基、取代烷基、取代烯基、取代芳烷基或取代雜芳烷基中的一種,其特征在于:所述酸銅整平劑應(yīng)用于可調(diào)表面形貌晶圓電鍍中。?

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸銅整平劑的應(yīng)用,其特征在于:所述的酸銅整平劑為L113,其分子結(jié)構(gòu)式為?

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實用新型專利、外觀設(shè)計專利(升級中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

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