[發明專利]一種高性能ZAO旋轉靶材的制備方法無效
| 申請號： | 201310731271.X | 申請日： | 2013-12-26 |
| 公開（公告）號： | CN103643207A | 公開（公告）日： | 2014-03-19 |
| 發明（設計）人： | 康明生;崔娜;齊夢強;朱輝;吳潔;岳子云 | 申請（專利權）人： | 河北東同光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京愛普納杰專利代理事務所(特殊普通合伙) 11419 | 代理人： | 王玉松 |
| 地址： | 052160 河北省石*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 性能 zao 旋轉 制備 方法 | ||
1.一種高性能ZAO旋轉靶材的制備方法，其特征在于它是按以下步驟進行的：
一、粉體初壓成型：將模具置于壓力機上，在ZAO粉體與模具接觸面涂上二硫化鉬粉末，裝入ZAO粉體后，在2～10MPa壓強下壓制成粗坯；
二、真空熱壓燒結：將步驟一中壓制成的粗坯連同模具一起移入真空熱壓爐內，抽真空至真空度為5～50Pa；加壓至15～40MPa后，均勻升溫至1100～1400℃，保溫保壓2～6小時；然后降溫至100℃以下出爐，得到ZAO旋轉靶材粗品。
2.根據權利要求1所述的一種高性能ZAO旋轉靶材的制備方法，其特征在于步驟一中所述的壓制成粗坯的壓強為3～9MPa。
3.根據權利要求1所述的一種高性能ZAO旋轉靶材的制備方法，其特征在于步驟二中所述的將粗坯連同模具一起移入真空熱壓爐內后，抽真空至真空度為10～48Pa。
4.根據權利要求1所述的一種高性能ZAO旋轉靶材的制備方法，其特征在于步驟二中所述的將粗坯連同模具一起移入真空熱壓爐內后，抽真空至真空度為12～45Pa。
5.根據權利要求1所述的一種高性能ZAO旋轉靶材的制備方法，其特征在于步驟二中所述的保溫保壓時，保持的壓強為16～37MPa。
6.根據權利要求1所述的一種高性能ZAO旋轉靶材的制備方法，其特征在于步驟二中所述的保溫保壓時，保持的溫度為1120～1380℃。
7.根據權利要求1所述的一種高性能ZAO旋轉靶材的制備方法，其特征在于步驟二中所述的保溫保壓時，保持的溫度為1140～1350℃。
8.根據權利要求1所述的一種高性能ZAO旋轉靶材的制備方法，其特征在于步驟二中所述的保溫保壓的時間為2.5～5.5小時。
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